1) Cilindrične mete imaju veću stopu iskorištenja od planarnih ciljeva.U procesu nanošenja premaza, bilo da se radi o rotacijskom magnetskom tipu ili cilindričnoj meti za raspršivanje tipa rotacijske cijevi, svi dijelovi površine ciljne cijevi kontinuirano prolaze kroz područje raspršivanja stvoreno ispred trajnog magneta kako bi primili katodno raspršivanje, a meta se može ravnomjerno urezati prskanjem, a stopa iskorištenja cilja je visoka.Stopa iskorištenja ciljnih materijala je oko 80%~90%.
2) Cilindrične mete neće lako proizvesti „trovanje mete“.Tokom procesa premazivanja, površina ciljne cijevi je uvijek raspršena i nagrizena ionima, te nije lako akumulirati debele okside i druge izolacijske filmove na površini, a nije lako proizvesti „ciljno trovanje“.
3) Struktura cilindrične mete za raspršivanje rotirajuće mete je jednostavna i laka za instalaciju.
4) Materijal cilindrične ciljne cijevi ima različite vrste.planarna meta sa metalnom metom direktnim vodenim hlađenjem, a neke se ne mogu obraditi i formirati cilindrične mete, kao što je In2-SnO2 meta itd. sa praškastim materijalom za vruće izostatičko presovanje da bi se dobile mete nalik pločama, jer se veličina ne može napraviti velika i lomljiva, tako da je potrebno koristiti metod lemljenja i bakrenu pozadinu za integraciju i zatim ugradnju na ciljnu bazu.Osim metalnih cijevi, stupaste mete mogu se prskati i po površini cijevi od nehrđajućeg čelika raznim materijalima koje je potrebno premazati, kao što su Si, Cr, itd.
Trenutno se povećava udio cilindričnih meta za premazivanje u industrijskoj proizvodnji.Cilindrične mete se ne koriste samo za vertikalnu mašinu za premazivanje, već se koriste i u mašini za premazivanje od rolna do rolna.Posljednjih godina, planarne dvostruke mete postupno su zamijenjene cilindričnim dvostrukim metama.
——Ovaj članak je objavio Guangdong Zhenhua Technology, aproizvođač mašina za optičko premazivanje.
Vrijeme objave: maj-11-2023