1. Pristrasnost radnog komada je mala
Zbog dodavanja uređaja za povećanje brzine jonizacije, gustina struje pražnjenja je povećana, a prednapon se smanjuje na 0,5~1kV.
Smanjuje se povratno prskanje uzrokovano prekomjernim bombardiranjem visokoenergetskih jona i učinak oštećenja na površini radnog komada.
2. Povećana gustina plazme
Dodane su različite mjere za promoviranje kolizione jonizacije, a stopa ionizacije metala je povećana sa 3% na više od 15%.Gustoća iona brade i visokoenergetskih neutralnih atoma, iona dušika, visokoenergetskih aktivnih atoma i aktivnih grupa u komori za oblaganje je povećana, što je pogodno za reakciju stvaranja spojeva.Gore navedene različite tehnologije ionskog premaza poboljšanog sjajnog pražnjenja uspjele su dobiti slojeve TN tvrdog filma reakcijskim taloženjem pri većim gustinama plazme, ali budući da pripadaju tipu svjetlećeg pražnjenja, gustina struje pražnjenja nije dovoljno visoka (i dalje nivo mA/cm2 ), a ukupna gustina plazme nije dovoljno visoka, a proces reakcionog taloženja jedinjenja je težak.
3. Opseg premaza tačkastog izvora isparavanja je mali
Različite tehnologije poboljšanog ionskog oblaganja koriste izvore isparavanja elektronskim snopom, a gantu kao tačkasti izvor isparavanja, koji je ograničen na određeni interval iznad gantua za reakcijsko taloženje, pa je produktivnost niska, proces težak i teško ga je industrijalizirati.
4. Rad elektronskog pištolja pod visokim pritiskom
Napon elektronskog pištolja je 6~30kV, a napon prednapona radnog komada je 0,5~3kV, što pripada visokonaponskom radu i ima određene sigurnosne opasnosti.
——Ovaj članak je objavio Guangdong Zhenhua Technology, aproizvođač mašina za optičko premazivanje.
Vrijeme objave: maj-12-2023