1. Termička CVD tehnologija
Tvrdi premazi su uglavnom metalokeramički premazi (TiN i dr.), koji nastaju reakcijom metala u prevlaci i reaktivnom gasifikacijom.Isprva je korišćena termalna CVD tehnologija da se obezbedi energija aktivacije kombinovane reakcije toplotnom energijom na visokoj temperaturi od 1000 ℃.Ova temperatura je prikladna samo za nanošenje TiN i drugih tvrdih premaza na alate od cementnog karbida.Do sada je još uvijek važna tehnologija nanošenja TiN-Al20 kompozitnih premaza na glave alata od cementnog karbida.
2. Jonski premaz šuplje katode i ionski premaz vruće žice
U 1980-im, ionski premaz šuplje katode i ionski premaz vruće žice korišteni su za odlaganje obloženih reznih alata.Obje ove tehnologije jonskog premaza su tehnologije ionskog oblaganja lučnim pražnjenjem, sa stopom jonizacije metala do 20%~40%.
3. Katodni luk ionski premaz
Pojava katodnog lučnog ionskog premaza dovela je do razvoja tehnologije nanošenja tvrdih premaza na kalupe.Brzina jonizacije prevlake katodnog luka je 60%~90%, što omogućava velikom broju jona metala i jona reakcionog gasa da dođu do površine obratka i dalje održavaju visoku aktivnost, što rezultira reakcijskim taloženjem i formiranjem tvrdih prevlaka kao što su TiN.Trenutno se tehnologija katodnog ionskog premaza uglavnom koristi za nanošenje tvrdih premaza na kalupe.
Izvor katodnog luka je izvor isparavanja u čvrstom stanju bez fiksnog rastopljenog bazena, a položaj izvora luka može se proizvoljno postaviti, poboljšavajući stopu iskorištenja prostora prostorije za oblaganje i povećavajući kapacitet peći.Oblici izvora katodnog luka uključuju male kružne izvore katodnog luka, stubne izvore luka i pravougaone ravne izvore velikog luka.Različite komponente malih izvora luka, stubnih izvora luka i velikih izvora luka mogu se posebno rasporediti za taloženje višeslojnih filmova i nano višeslojnih filmova.U međuvremenu, zbog visoke stope jonizacije metala premaza katodnog luka, ioni metala mogu apsorbirati više reakcionih plinova, što rezultira širokim rasponom procesa i jednostavnim radom za dobivanje odličnih tvrdih premaza.Međutim, postoje krupne kapljice u mikrostrukturi sloja prevlake dobivene katodnim ionskim premazivanjem.Posljednjih godina pojavile su se mnoge nove tehnologije za pročišćavanje strukture sloja filma, što je poboljšalo kvalitetu filma za oblaganje iona luka.
——Ovaj članak je objavio Guangdong Zhenhua Technology, aproizvođač mašina za optičko premazivanje.
Vrijeme objave: Apr-28-2023