Proces nanošenja ionskog premaza šuplje katode je sljedeći:
1、Stavite Chin ingote u kolaps.
2、Montiranje radnog komada.
3、Nakon evakuacije do 5×10-3Pa, gas argon se uvodi u komoru za oblaganje iz srebrne cijevi, a nivo vakuuma je oko 100Pa.
4、Uključite napajanje.
5、Nakon uključivanja struje luka da se zapali pražnjenje šuplje katode. Svjetleće pražnjenje se stvara u cijevi gumba, napon pražnjenja je 800 ~ 1000 V, struja podizanja luka je 30 ~ 50 A. Zbog efekta sjaja šuplje katode pražnjenje, visoka gustina struje pražnjenja u sjaju, visoka gustina jona u srebrnoj cevi bombarduje zid cevi za gledanje, čini da se zid cevi brzo zagreje do emisije toka elektrona, način pražnjenja iz užarenog pražnjenja nagla se menja u lučno pražnjenje, napon je 40 ~ 70 V, struja je 80 ~ 300 A. Temperatura srebrne cijevi dostiže iznad 2300 K, žarulja, emituje tok elektrona luka velike gustine iz cijevi i puca na anodu.
6、Podešavanje nivoa vakuuma. Nivo vakuuma za užareno pražnjenje iz pištolja sa šupljom katodom je oko 100 Pa, a stepen vakuuma premaza je 8×10-1~2Pa. Stoga, nakon paljenja lučnog pražnjenja, smanjite dolazni argon gas što je pre moguće, Podesite nivo vakuuma na opseg pogodan za premazivanje.
7、Titan presvučen osnovni sloj. Tok elektrona na anodno srušeni metalni ingot Chin, pretvaranje kinetičke energije u toplotnu energiju, isparavanje metala brade zagrijavanjem, atomi pare dopiru do radnog predmeta i formiraju titanijumski film.
8、Taloženje TiN. Gas dušika se dovodi u komoru za oblaganje, Gas dušika i ispareni atomi se joniziraju u ione dušika i titana. Iznad lončića, veća vjerovatnoća neelastičnih sudara atoma pare titanijuma sa gustim strujama elektrona niskoenergetskih Brzina disocijacije metala je čak 20%~40%.,Joni titana imaju veću vjerovatnoću da će kemijski reagirati sa reakcionim plinom dušikom,Taloženje da bi se dobio sloj nitridnog omotača.Šuplji katodni pištolj je i izvor isparavanja,drugi izvor ionizacije.Tokom premaza,Struja elektromagnetne zavojnice oko lončića također treba biti podešena,Fokusirajte snop elektrona na centar kolapsa,na taj način se povećava gustina snage toka elektrona.
9、Isključite napajanje. Nakon što debljina filma dostigne unaprijed određenu debljinu filma, isključite napajanje luka、Bias napajanje i dovod zraka.
Vrijeme objave: Jul-08-2023