Koji su procesi mašina za vakuumsko premazivanje?Koji je princip rada?

Thevakumsko premazivanjemašinski proces se deli na: vakuumsko evaporaciono premazivanje, vakuumsko raspršivanje i vakuumsko ionsko prevlačenje.

1、Vakumski premaz za isparavanje

Pod vakuumom, učinite da materijal ispari, kao što je metal, metalna legura, itd., a zatim ih odložite na površinu supstrata, metoda premaza isparavanjem često koristi otporno grijanje, a zatim bombardiranje materijala za premazivanje elektronskim snopom, napravite ih isparava u gasnu fazu, a zatim se taloži na površini supstrata, istorijski gledano, vakuumsko taloženje parom je ranija tehnologija koja se koristila u PVD metodi.

2、Prevlaka za prskanje

Gas je podvrgnut užarenom pražnjenju pod (Ar) ispunjenim vakuumskim uslovima. U ovom trenutku atomi argona (Ar) se pretvaraju u ione azota (Ar), joni se ubrzavaju silom električnog polja i bombarduju katodnu metu koja je napravljen od materijala za premazivanje, meta će biti raspršena i taložena na površini supstrata Upadni ioni u premazu raspršivanjem, koji se obično dobijaju užarenim pražnjenjem, su u rasponu od 10-2pa do 10Pa, tako da se raspršene čestice lako sudaraju s molekulima plina u vakuumskoj komori kada lete prema podlozi, čineći smjer kretanja slučajnim i naneseni film lako biti ujednačen.

3、jonski premaz

U uslovima vakuuma, u uslovima vakuuma, koristio je određenu tehniku ​​jonizacije plazme za delimičnu ionizaciju atoma materijala za oblaganje u jone. Istovremeno se proizvodi mnogo neutralnih atoma visoke energije, koji su negativno nagnuti na podlogu. Na ovaj način, joni nanose se na površinu podloge pod dubokim negativnim nagibom kako bi se formirao tanak film.