Šta je premaz izvora otpornosti na isparavanje?

Premaz izvora otpornosti na isparavanje je osnovna metoda nanošenja premaza vakuumskim isparavanjem.“Isparavanje” se odnosi na metodu pripreme tankog filma u kojoj se materijal za oblaganje u vakuumskoj komori zagrijava i isparava, tako da atomi ili molekule materijala ispare i pobjegnu s površine, formirajući fenomen protoka pare, koji pada na površinu supstrat ili supstrat, i na kraju se kondenzira u čvrsti film.

Metoda takozvanog otpornog premaza izvora isparavanja je upotreba tantala, molibdena, volframa i drugih metala visoke tačke topljenja kako bi se napravio odgovarajući oblik izvora isparavanja, koji je napunjen materijalima koji se isparavaju, puštaju zrak kroz njega, direktno zagrijavaju i ispariti isparene materijale ili staviti materijale za isparavanje u glinicu, berilijum oksid i druge lončiće za indirektno zagrijavanje i isparavanje.Ovo je metoda otpornog zagrijavanja isparavanjem.

Themašina za premazivanje vakuumskim isparavanjemgrijani i ispareni otpornim grijačem imaju prednosti jednostavne strukture, niske cijene i pouzdane upotrebe.Može se koristiti za premazivanje isparavanjem materijala sa niskom tačkom topljenja, posebno za masovnu proizvodnju sa niskim zahtjevima za kvalitetom premaza.Do sada je još uvijek u upotrebi u proizvodnji aluminiziranih ogledala veliki broj postupaka premaza otpornog zagrijavanja i isparavanja.

Nedostaci metode premazivanja izvora isparavanja otpornim isparavanjem su da je maksimalna temperatura koja se može postići zagrijavanjem ograničena, a životni vijek grijača je također kratak.Posljednjih godina, kako bi se poboljšao vijek trajanja otpornog izvora isparavanja, tvornica opreme je usvojila provodljivi keramički materijal sintetiziran bor nitridom sa dugim vijekom trajanja kao izvor isparavanja.Prema izvještaju o japanskom patentu, može koristiti materijale sastavljene od 20%~30% bor nitrida i vatrostalne materijale koji se mogu spojiti s njim kako bi se napravio izvor isparavanja (lonac), i premazati njegovu površinu slojem cirkonija koji sadrži 62% ~82%, a ostalo su materijali od legure cirkonijum-silicijum.