Koji je princip rada mašine za jonsko nanošenje

Jonski premazmašina potiče iz teorije koju je predložio DM Mattox 1960-ih, a odgovarajući eksperimenti su počeli u to vrijeme;Do 1971. Chambers i drugi su objavili tehnologiju ionskog prevlačenja elektronskim snopom;Tehnologija reaktivnog isparavanja (ARE) istaknuta je u Bunshahovom izvještaju 1972. godine, kada su proizvedeni tipovi supertvrdih filmova kao što su TiC i TiN;Takođe 1972. godine, Smith i Molley su usvojili tehnologiju šuplje katode u procesu oblaganja.Do 1980-ih, ionsko prevlačenje u Kini konačno je dostiglo nivo industrijske primjene, a procesi prevlačenja kao što su vakuumsko višelučno ionsko prevlačenje i ionsko ionsko pražnjenje pojavili su se sukcesivno.

Čitav radni proces vakuumskog ionskog oblaganja je sljedeći: prvo,pumpavakuum komoru, a zatimčekajvakuumski pritisak na 4X10 ⁻ ³ Paili bolje, potrebno je spojiti visokonaponsko napajanje i izgraditi niskotemperaturnu plazma područje niskonaponskog pražnjenog plina između podloge i isparivača.Povežite elektrodu supstrata sa negativnim visokim naponom od 5000V DC da biste formirali užareno pražnjenje katode.Joni inertnog plina nastaju u blizini područja negativnog sjaja.Oni ulaze u tamno područje katode i ubrzavaju se električnim poljem i bombardiraju površinu podloge.Ovo je proces čišćenja, a zatim se ulazi u proces premazivanja.Usljed efekta zagrijavanja bombardiranja, neki materijali za oblaganje se isparavaju.Područje plazme ulazi u protone, sudara se s elektronima i ionima inertnog plina, a mali dio njih je ioniziran. Ovi jonizirani ioni sa velikom energijom će bombardirati površinu filma i donekle poboljšati kvalitet filma.

Princip vakuumskog ionskog oblaganja je: u vakuumskoj komori, koristeći fenomen gasnog pražnjenja ili jonizovani deo isparenog materijala, pod bombardovanjem isparenog materijala iona ili jona gasa, istovremeno taloži ove isparene supstance ili njihove reaktante na podlogu. da se dobije tanak film.Jonski premazmašinakombinuje vakuumsko isparavanje, tehnologiju plazme i gasno užareno pražnjenje, što ne samo da poboljšava kvalitet filma, već i širi opseg primene filma.Prednosti ovog procesa su jaka difrakcija, dobra adhezija filma i različiti materijali za oblaganje.Princip ionskog oblaganja prvi je predložio DM Mattox.Postoji mnogo vrsta jonske prevlake.Najčešći tip je zagrijavanje isparavanjem, uključujući otporno grijanje, grijanje elektronskim snopom, grijanje plazma elektronskim snopom, visokofrekventno indukcijsko grijanje i druge metode grijanja.