Ova serija opreme koristi magnetronske mete za pretvaranje materijala za oblaganje u čestice veličine nanometara, koje se talože na površini supstrata kako bi formirale tanke filmove.Umotani film se stavlja u vakuumsku komoru.Kroz strukturu namotaja na električni pogon, jedan kraj prima film, a drugi stavlja film.Nastavlja da prolazi kroz ciljno područje i prima ciljne čestice da formira gust film.
karakteristika:
1. Formiranje filma pri niskoj temperaturi.Temperatura ima mali uticaj na film i neće izazvati deformaciju.Pogodan je za folije od PET, PI i drugih osnovnih materijala.
2. Debljina filma može biti dizajnirana.Tanki ili debeli premazi mogu se dizajnirati i nanijeti podešavanjem procesa.
3. Dizajn višestruke ciljne lokacije, fleksibilan proces.Čitava mašina može biti opremljena sa osam meta, koje se mogu koristiti kao jednostavne metalne mete ili složene i oksidne mete.Može se koristiti za pripremu jednoslojnih filmova sa jednostrukom strukturom ili višeslojnih filmova sa kompozitnom strukturom.Proces je veoma fleksibilan.
Oprema može pripremiti elektromagnetnu zaštitnu foliju, fleksibilnu oblogu na ploči, razne dielektrične filmove, višeslojnu AR antirefleksnu foliju, HR visoko antirefleksnu foliju, film u boji, itd. Oprema ima vrlo širok spektar primjena i jednoslojno nanošenje filma može se završiti jednokratnim nanošenjem filma.
Oprema može usvojiti jednostavne metalne mete kao što su Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, itd., ili složene mete kao što su SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, itd.
Oprema je male veličine, kompaktnog dizajna strukture, male površine, niske potrošnje energije i fleksibilnog podešavanja.Vrlo je pogodan za istraživanje i razvoj procesa ili masovnu proizvodnju u malim serijama.