1) Els objectius cilíndrics tenen una taxa d'utilització més alta que els objectius plans.En el procés de recobriment, tant si es tracta d'un tipus magnètic rotatiu com d'un objectiu de pulverització cilíndrica de tipus tub rotatiu, totes les parts de la superfície del tub objectiu passen contínuament per l'àrea de pulverització generada davant de l'imant permanent per rebre la pulverització catòdica, i el L'objectiu es pot gravar de manera uniforme i la taxa d'utilització de l'objectiu és alta.La taxa d'utilització dels materials objectiu és d'uns 80% ~ 90%.
2) Els objectius cilíndrics no seran fàcils de produir "intoxicació per diana".Durant el procés de recobriment, la superfície del tub objectiu sempre està escampada i gravada per ions, i no és fàcil acumular òxids gruixuts i altres pel·lícules aïllants a la superfície, i no és fàcil produir "intoxicació objectiu".
3) L'estructura de l'objectiu de pulverització cilíndrica tipus tub objectiu rotatiu és senzilla i fàcil d'instal·lar.
4) El material del tub objectiu cilíndric té diversos tipus.objectiu pla amb objectiu metàl·lic amb refrigeració directa per aigua, i alguns no es poden processar i formar objectius cilíndrics, com ara objectiu In2-SnO2, etc. amb material en pols per premsar isostàtica en calent per obtenir objectius semblants a plaques, perquè la mida no es pot fer gran i fràgil, per la qual cosa cal utilitzar el mètode de soldadura forta i la placa posterior de coure per integrar-lo i després instal·lar-lo a la base de destinació.A més de les canonades metàl·liques, els objectius columnars també es poden ruixar a la superfície de les canonades d'acer inoxidable amb diversos materials que s'han de revestir, com ara Si, Cr, etc.
Actualment, la proporció d'objectius cilíndrics per al recobriment en la producció industrial està augmentant.Els objectius cilíndrics no només s'utilitzen per a la màquina de recobriment vertical, sinó que també s'utilitzen a la màquina de recobriment de rotlle a rotllo.En els últims anys, els objectius bessons planars s'han substituït gradualment pels objectius bessons cilíndrics.
——Aquest article va ser publicat per Guangdong Zhenhua Technology, afabricant de màquines de recobriment òptic.
Hora de publicació: 11-maig-2023