Procés de polimerització directa de plasma

Procés de polimerització directa de plasma

El procés de polimerització per plasma és relativament senzill tant per a equips de polimerització d'elèctrodes interns com per a equips de polimerització d'elèctrodes externs, però la selecció de paràmetres és més important en la polimerització per plasma, perquè els paràmetres tenen un impacte més gran en l'estructura i el rendiment de les pel·lícules de polímer durant la polimerització per plasma.

Els passos operatius per a la polimerització directa per plasma són els següents:

(1) Aspirar

El buit de fons de polimerització en condicions de buit s'ha de bombar a 1,3 × 10-1 Pa.Per a reaccions de polimerització que requereixen requisits especials per controlar el contingut d'oxigen o nitrogen, el requisit de buit de fons és encara més gran.

(2) Monòmer de reacció de càrrega o gas mixt de gas portador i monòmer

El grau de buit és de 13-130 Pa.Per a la polimerització de plasma que requereixi treball, s'ha de seleccionar el mode de control de flux i el cabal adequat, generalment 10,100 ml/min.Al plasma, les molècules de monòmers s'ionitzen i es dissocien pel bombardeig de partícules energètiques, donant lloc a partícules actives com ara ions i gens actius.Les partícules actives activades pel plasma poden patir polimerització per plasma a la interfície de la fase gasosa i la fase sòlida.El monòmer és la font de precursor per a la polimerització de plasma, i el gas de reacció d'entrada i el monòmer han de tenir una certa puresa.

(3) Selecció de l'alimentació d'excitació

El plasma es pot generar mitjançant fonts d'alimentació de corrent continu, d'alta freqüència, RF o microones per proporcionar un entorn de plasma per a la polimerització.La selecció de la font d'alimentació es determina en funció dels requisits d'estructura i rendiment del polímer.

(4) Selecció del mode de descàrrega

Per als requisits de polímer, la polimerització per plasma pot triar dos modes de descàrrega: descàrrega contínua o descàrrega per pols.

(5) Selecció dels paràmetres de descàrrega

Quan es realitza la polimerització per plasma, cal tenir en compte els paràmetres de descàrrega a partir dels paràmetres del plasma, les propietats del polímer i els requisits d'estructura.La magnitud de la potència aplicada durant la polimerització ve determinada pel volum de la cambra de buit, la mida de l'elèctrode, el flux i l'estructura del monòmer, la velocitat de polimerització i l'estructura i el rendiment del polímer.Per exemple, si el volum de la cambra de reacció és d'1L i s'adopta la polimerització de plasma RF, la potència de descàrrega estarà en el rang de 10 ~ 30W.En aquestes condicions, el plasma generat es pot agregar per formar una pel·lícula fina a la superfície de la peça.La taxa de creixement de la pel·lícula de polimerització de plasma varia amb la font d'alimentació, el tipus de monòmer i el cabal i les condicions del procés.En general, la velocitat de creixement és de 100 nm/min ~ 1um/min.

(6) Mesura de paràmetres en polimerització per plasma

Els paràmetres de plasma i els paràmetres de procés que s'han de mesurar en la polimerització de plasma inclouen: tensió de descàrrega, corrent de descàrrega, freqüència de descàrrega, temperatura d'electrons, densitat, tipus de grup de reacció i concentració, etc.

——Aquest article va ser publicat per Guangdong Zhenhua Technology, afabricant de màquines de recobriment òptic.