Durant el recobriment d'evaporació, la nucleació i el creixement de la capa de pel·lícula són la base de diverses tecnologies de recobriment d'ions
1.Nucleació
Intecnologia de recobriment per evaporació al buit, després que les partícules de la capa de pel·lícula s'evaporin de la font d'evaporació en forma d'àtoms, volen directament a la peça de treball en buit elevat i formen la capa de pel·lícula per nucleació i creixement a la superfície de la peça de treball.Durant l'evaporació al buit, l'energia dels àtoms de la capa de pel·lícula que escapen de la font d'evaporació és d'uns 0,2 eV.Quan la cohesió entre les partícules de la capa de pel·lícula és més gran que la força d'unió entre els àtoms de la capa de pel·lícula i la peça de treball, formen un nucli d'illa.Un àtom d'una sola capa de pel·lícula roman a la superfície de la peça durant el temps fent moviment irregular, difusió, migració o col·lisió amb altres àtoms per formar cúmuls atòmics. El nombre d'àtoms del cúmul atòmic assoleix un cert valor crític, un valor estable es forma el nucli, anomenat nucli de forma homogènia.
suau i conté molts defectes i passos, cosa que provoca la diferència en la força d'adsorció de diferents parts de la peça als àtoms radioactius.L'energia d'adsorció de la superfície del defecte és més gran que la de la superfície normal, de manera que es converteix en el centre actiu, que és propici per a la nucleació preferent, anomenada nucleació heterogènia.Quan la força de cohesió és igual a la força d'unió, o la força d'unió entre els àtoms de la membrana i la peça de treball és més gran que la força de cohesió entre els àtoms de la membrana, es forma l'estructura lamel·lar.En la tecnologia de revestiment d'ions, el nucli d'illa es forma en la majoria dels casos.
2.Creixement
Un cop format el nucli de la pel·lícula, continua creixent atrapant els àtoms incidents. Les illes creixen i es combinen entre si per formar hemisferis més grans, formant gradualment una capa d'illa hemisfèrica que s'estén per la superfície de la peça de treball.
Quan l'energia atòmica de la capa de pel·lícula és alta, es pot difondre prou a la superfície i es pot formar una pel·lícula contínua llisa quan els cúmuls atòmics entrants posteriors són petits. Si la difusió dels àtoms a la superfície és feble i la mida de els cúmuls dipositats són grans, existeixen com a grans nuclis peninsulars. La part superior del nucli de l'illa té un fort efecte d'ombrejat a la part còncava, és a dir, "l'efecte ombra". La projecció de la superfície és més favorable per capturar els àtoms dipositats posteriors. i creixement preferencial, donant lloc a un grau creixent de concavitat a la superfície per formar cristalls cònics o columnars de mida suficient.Es formen buits penetrants entre els cristalls cònics i el valor de la rugositat de la superfície augmenta. Es pot obtenir teixit fi a alt buit, amb la disminució del grau de buit, la microestructura de la membrana es fa més i més gruixuda.
Hora de publicació: 24-maig-2023