Elequips de recobriment al buites compon de moltes peces precises, que es fabriquen mitjançant molts processos, com ara soldadura, rectificat, tornejat, planejat, mandrinat, fresat, etc.A causa d'aquests treballs, la superfície de les peces de l'equip es contaminarà inevitablement amb alguns contaminants com ara greix, brutícia d'oli, encenalls de metall, flux de soldadura, pasta de polir, marques de suor, etc.Aquests contaminants són fàcils de volatilitzar en condicions de buit, afectant així el buit final de l'equip.
A més, aquests contaminants al buit del processament mecànic absorbeixen una gran quantitat de gas a l'entorn de pressió atmosfèrica i, en estat de buit, aquests gasos prèviament adsorbits també es tornaran a alliberar, convertint-se en un factor important que limita el buit límit.Per aquest motiu, els contaminants s'han d'eliminar abans de muntar les peces de la màquina de recobriment al buit.
Durant l'ús d'equips de buit, els seus components també es contaminaran.Tanmateix, la contaminació d'aquesta font és causada principalment per les condicions d'ús i la bomba de buit.
1. L'evaporació del filament del vacuòmetre en condicions d'alta temperatura donarà lloc a la formació d'una pel·lícula a l'aïllant ceràmic, que danyarà la seva força d'aïllament fins a cert punt, i també tindrà un cert impacte en la precisió de la seva mesura;
2. A causa de l'evaporació a alta temperatura, es formarà una pel·lícula metàl·lica a la superfície prop del filament del canó d'electrons al buit;
3. A causa de la pulverització de la peça de treball, la paret interior de l'equip de gravat de feix d'ions estarà contaminada per esquitxades;
4. La paret interior de l'equip de recobriment per evaporació al buit estarà contaminada pel seu material objectiu d'evaporació;
5. Sovint s'utilitza un sistema d'assecat al buit i el sistema estarà contaminat per les substàncies evaporades;
6. L'oli de la bomba de difusió i l'oli de la bomba mecànica dels equips de recobriment al buit també són una font important de contaminació.Després que la màquina de recobriment hagi estat treballant durant molt de temps, es pot formar una pel·lícula d'oli a l'interior de l'equip.
En resum, el sanejament al buit dels equips inclou equips de buit, sistema de buit, producció de processos de buit i altres aspectes i enllaços, així com els requisits del propi equip de recobriment al buit i un procés especial de buit sobre les condicions d'ús.Per tant, la contaminació pel buit és un problema digne d'atenció, perquè aquesta contaminació afectarà el rendiment de l'equip, i s'ha de prestar atenció a la neteja regular o en qualsevol moment.
Hora de publicació: 21-feb-2023