El recobriment de la font d'evaporació de resistència és un mètode bàsic de recobriment per evaporació al buit."Evaporació" es refereix a un mètode de preparació de pel·lícula fina en què el material de recobriment de la cambra de buit s'escalfa i s'evapora, de manera que els àtoms o molècules del material es vaporitzen i s'escapi de la superfície, formant un fenomen de flux de vapor, incident a la superfície de la substrat o substrat, i finalment condensat per formar una pel·lícula sòlida.
L'anomenat mètode de recobriment de la font d'evaporació de resistència consisteix a utilitzar tàntal, molibdè, tungstè i altres metalls d'alt punt de fusió per fer una forma adequada de font d'evaporació, que es carrega amb materials que s'han d'evaporar, deixar passar l'aire, escalfar directament i Evaporeu els materials evaporats o poseu els materials a evaporar en alúmina, òxid de beril·li i altres gresols per escalfar i evaporar indirectament.Aquest és el mètode d'evaporació per escalfament de resistència.
Elmàquina de recobriment per evaporació al buitEscalfat i evaporat per un escalfador de resistència té els avantatges d'una estructura senzilla, un baix cost i un ús fiable.Es pot utilitzar per al recobriment per evaporació de materials amb baix punt de fusió, especialment per a la producció en massa amb requisits baixos de qualitat de recobriment.Fins ara, encara hi ha un gran nombre de processos de recobriment d'escalfament per resistència i evaporació que s'utilitzen en la producció de miralls aluminitzats.
Els desavantatges del mètode de recobriment d'evaporació de la font d'evaporació de resistència són que la temperatura màxima que es pot assolir mitjançant la calefacció és limitada i la vida útil de l'escalfador també és curta.En els últims anys, per millorar la vida útil de la font d'evaporació de resistència, la fàbrica d'equips ha adoptat el material ceràmic conductor sintetitzat per nitrur de bor amb una llarga vida com a font d'evaporació.Segons un informe de patent japonesa, pot utilitzar materials compostos per un 20% ~ 30% de nitrur de bor i materials refractaris que es poden fusionar amb ell per fer la font d'evaporació (gresol) i recobrir la seva superfície amb una capa de zirconi que conté un 62% ~82%, i la resta són materials d'aliatge de zirconi-silici.
Hora de publicació: 22-abril-2023