RCW600

Aquesta sèrie d'equips utilitza objectius de magnetró per convertir els materials de recobriment en partícules de mida nanomètrica, que es dipositen a la superfície dels substrats per formar pel·lícules primes.La pel·lícula enrotllada es col·loca a la cambra de buit.A través de l'estructura de bobinatge accionada elèctricament, un extrem rep la pel·lícula i l'altre posa la pel·lícula.Continua passant per la zona objectiu i rep les partícules objectiu per formar una pel·lícula densa.
Característica:

1. Formació de pel·lícules a baixa temperatura.La temperatura té poc efecte sobre la pel·lícula i no produirà deformació.És adequat per a pel·lícules de bobina de PET, PI i altres materials de base.
2. El gruix de la pel·lícula es pot dissenyar.Els recobriments prims o gruixuts es poden dissenyar i dipositar mitjançant l'ajust del procés.
3. Disseny d'ubicació de destinació múltiple, procés flexible.Tota la màquina es pot equipar amb vuit objectius, que es poden utilitzar com a objectius metàl·lics simples o com a objectius compostos i òxids.Es pot utilitzar per preparar pel·lícules d'una sola capa amb estructura única o pel·lícules multicapa amb estructura composta.El procés és molt flexible.

L'equip pot preparar una pel·lícula de blindatge electromagnètic, un recobriment de plaques de circuit flexible, diverses pel·lícules dielèctriques, una pel·lícula antireflectant AR multicapa, una pel·lícula antireflectant alta HR, una pel·lícula en color, etc. es pot completar amb una deposició de pel·lícula única.
L'equip pot adoptar objectius metàl·lics senzills com Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, etc., o objectius compostos com SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, etc.

L'equip és de mida petita, un disseny d'estructura compacte, una superfície reduïda, un baix consum d'energia i un ajust flexible.És molt adequat per a la investigació i desenvolupament de processos o la producció en massa de petits lots.