HFCVD0606

Ang vacuum coating chamber sa chemical vapor deposition equipment nagsagop sa usa ka independente nga double-layer nga water-cooling structure, nga episyente ug uniporme sa pagpabugnaw, ug adunay luwas ug lig-on nga istruktura.Ang kagamitan gidisenyo nga adunay doble nga mga pultahan, daghang mga bintana sa obserbasyon ug daghang mga interface sa pagpalapad, nga kombenyente alang sa gawas nga koneksyon sa mga auxiliary peripheral sama sa pagsukod sa temperatura sa infrared, pagtuki sa spectral, pag-monitor sa video ug thermocouple.Ang advanced nga konsepto sa disenyo naghimo sa adlaw-adlaw nga pag-ayo ug pagmentinar, pagbag-o sa configuration ug pag-upgrade sa mga ekipo nga sayon ​​ug yano, ug epektibo nga makunhuran ang gasto sa paggamit ug pag-upgrade.

Mga bahin sa kagamitan:

1.Ang mga sangkap sa inflation sa mga ekipo nag-una naglakip sa mass flow meter, solenoid valve ug gas mixing tank, nga nagsiguro sa tukma nga pagkontrol sa proseso sa pag-agos sa gas, uniporme nga pagsagol ug luwas nga pag-inusara sa lainlaing mga gas, ug makapili sa mga sangkap sa sistema sa gas alang sa paggamit sa liquid gas tinubdan, mapadali ang personal nga pagpili sa usa ka halapad nga-laing mga liquid carbon tinubdan, ug ang luwas nga paggamit sa synthetic conductive brilyante ug electrode liquid boron tinubdan.
2.Ang asembliya sa pagkuha sa hangin gisangkapan sa usa ka hilom ug episyente nga rotary vane vacuum pump ug usa ka turbo molecular pump system nga dali nga makatagbo sa taas nga vacuum background environment.Ang composite vacuum gauge nga adunay resistance gauge ug ionization gauge gigamit alang sa vacuum measurement, ingon man ang capacitive film gauge system nga makasukod sa pressure sa lain-laing mga proseso sa gas sa usa ka halapad nga range.Ang presyur sa deposition hingpit nga awtomatiko nga kontrolado sa high-precision proportional control valve.
3.Ang makapabugnaw nga bahin sa tubig nasangkapan sa multi-channel nga presyur sa tubig, pag-agos, pagsukod sa temperatura ug awtomatikong pag-monitor sa software.Ang lainlaing mga sangkap sa pagpabugnaw independente sa usag usa, nga dali alang sa paspas nga pagdayagnos sa sayup.Ang tanan nga mga sanga adunay independente nga mga switch sa balbula, nga luwas ug episyente.
4.Ang mga electrical control component nagsagop sa dako nga laki nga man-machine interface LCD screen ug nakigtambayayong sa PLC nga full-automatic nga kontrol aron mapadali ang pag-edit ug pag-import sa pormula sa proseso.Ang graphical curve biswal nga nagpakita sa mga pagbag-o ug mga kantidad sa lain-laing mga parameter, ug ang mga ekipo ug proseso nga mga parameter awtomatik nga girekord ug gi-archive aron mapadali ang pagsubay sa problema ug pagtuki sa istatistikal nga datos.
5.Ang workpiece rack adunay himan nga servo motor aron makontrol ang pagbayaw ug pagpaubos sa substrate nga lamesa.Ang graphite o pula nga copper substrate table mahimong mapili.Ang temperatura gisukod pinaagi sa usa ka thermocouple.
6.Ang mga sangkap sa rack mahimong gidisenyo sa kinatibuk-an o gilain sumala sa mga kinahanglanon sa kustomer aron matubag ang mga espesyal nga kinahanglanon sa pagdumala sa mga kustomer.
7.Ang mga sangkap sa sealing plate nindot ug elegante.Ang mga sealing plate sa lain-laing mga functional module nga mga lugar sa mga ekipo mahimong dali nga mabungkag o maablihan ug sirado nga independente, nga sayon ​​​​kaayo nga gamiton.

Ang mainit nga filament CVD nga kagamitan angay alang sa pagdeposito sa mga materyales nga diamante, lakip ang manipis nga coating sa pelikula, pagsuporta sa kaugalingon nga baga nga pelikula, microcrystalline ug nanocrystalline diamante, conductive diamante, ug uban pa. sama sa silicon ug silicon carbide, heat dissipation coating sa mga device, boron doped conductive diamond electrode, ozone disinfection sa electrolytic water o sewage treatment.