1) Ang mga cylindrical nga target adunay mas taas nga rate sa paggamit kaysa mga target sa planar.Sa proseso sa coating, bisan kung kini usa ka rotary magnetic type o usa ka rotary tube type cylindrical sputtering target, ang tanan nga mga bahin sa nawong sa target tube padayon nga moagi sa sputtering area nga nahimo sa atubangan sa permanenteng magnet aron makadawat cathode sputtering, ug ang target mahimong uniporme sputtered etched, ug ang target utilization rate taas.Ang rate sa paggamit sa target nga mga materyales mao ang mahitungod sa 80% ~ 90%.
2) Ang mga cylindrical nga target dili sayon nga makahimo og "target poisoning".Atol sa proseso sa coating, ang nawong sa target nga tubo kanunay nga nag-sputtered ug gikulit sa mga ions, ug dili sayon ang pagtigum sa baga nga mga oxide ug uban pang mga insulating films sa ibabaw, ug dili sayon ang paghimo sa "target poisoning".
3) Ang istruktura sa rotary target tube type cylindrical sputtering target mao ang yano ug sayon sa pag-instalar.
4) Ang cylindrical target tube nga materyal adunay lain-laing mga matang.planar nga target nga adunay metal nga target nga direktang pagpabugnaw sa tubig, ug ang uban dili maproseso ug maporma nga cylindrical nga mga target, sama sa In2-SnO2 target, ug uban pa nga adunay powder nga materyal alang sa init nga isostatic pressing aron makakuha og plate-like target, tungod kay ang gidak-on dili mahimo. dako, ug brittle, mao nga kini mao ang gikinahanglan nga sa paggamit sa brazing nga pamaagi ug tumbaga backplate sa integrate ug unya instalar sa target base.Gawas sa metal nga mga tubo, ang mga target sa kolumnar mahimo usab nga i-spray sa ibabaw sa mga stainless steel pipe nga adunay lainlaing mga materyales nga kinahanglan nga adunay sapaw, sama sa Si, Cr, ug uban pa.
Sa pagkakaron, ang proporsiyon sa cylindrical nga mga target alang sa coating sa industriyal nga produksyon nagkadaghan.Ang mga cylindrical nga target dili lamang gigamit alang sa bertikal nga coating machine apan gigamit usab sa roll to roll coating machine.Sa bag-ohay nga mga tuig, ang planar twin target anam-anam nga gipulihan sa Cylindrical twin target.
——Kini nga artikulo gipagawas sa Guangdong Zhenhua Technology, atiggama sa optical coating machine.
Panahon sa pag-post: Mayo-11-2023