Plasma direkta nga proseso sa polimerisasyon
Ang proseso sa Plasma polymerization medyo simple para sa internal nga electrode polymerization equipment ug external electrode polymerization equipment, apan ang pagpili sa parameter mas importante sa Plasma polymerization, tungod kay ang mga parameter adunay mas dako nga epekto sa istruktura ug performance sa polymer films atol sa Plasma polymerization.
Ang mga lakang sa operasyon alang sa direkta nga polimerisasyon sa plasma mao ang mga musunud:
(1) Pag-vacuum
Ang background vacuum sa polymerization ubos sa vacuum nga mga kondisyon kinahanglan nga pumped sa 1.3 × 10-1Pa.Alang sa polymerization nga mga reaksyon nga nanginahanglan espesyal nga mga kinahanglanon alang sa pagkontrol sa oksiheno o nitrogen nga sulud, ang kinahanglanon nga vacuum sa background labi ka taas.
(2) Pagsingil sa reaksyon nga monomer o sinagol nga gas sa carrier gas ug monomer
Ang vacuum degree mao ang 13-130Pa.Alang sa Plasma polymerization nga nanginahanglan ug trabaho, ang angay nga mode sa pagkontrol sa dagan ug rate sa pag-agos kinahanglan pilion, kasagaran 10.100mL / min.Sa plasma, ang mga molekula sa monomer gi-ionized ug gibuwag pinaagi sa pagpamomba sa mga lagsik nga partikulo, nga miresulta sa aktibong mga partikulo sama sa mga ion ug aktibong mga gene.Ang aktibo nga mga partikulo nga gi-activate sa plasma mahimong moagi sa Plasma polymerization sa interface sa gas phase ug solid phase.Ang monomer mao ang tinubdan sa pasiuna sa Plasma polymerization, ug ang input reaction gas ug monomer kinahanglan adunay piho nga kaputli.
(3) Pagpili sa excitation power supply
Ang plasma mahimong mamugna gamit ang DC, high-frequency, RF, o microwave power nga mga tinubdan aron makahatag og plasma environment para sa polymerization.Ang pagpili sa suplay sa kuryente gitino base sa mga kinahanglanon alang sa istruktura ug pasundayag sa polimer.
(4) Pagpili sa discharge mode
Para sa mga kinahanglanon sa polymer, ang Plasma polymerization makapili ug duha ka discharge modes: padayon nga discharge o pulse discharge.
(5) Pagpili sa mga parametro sa pagdiskarga
Kung nagpahigayon sa Plasma polymerization, ang mga parameter sa pag-discharge kinahanglan nga tagdon gikan sa mga parameter sa plasma, mga kabtangan sa polimer ug mga kinahanglanon sa istruktura.Ang kadako sa gipadapat nga gahum sa panahon sa polymerization gitino sa gidaghanon sa vacuum chamber, gidak-on sa electrode, monomer flow rate ug istruktura, polymerization rate, ug polymer structure ug performance.Pananglitan, kung ang gidaghanon sa reaksyon nga chamber mao ang 1L ug gisagop ang RF Plasma polymerization, ang gahum sa pagdiskarga naa sa sakup nga 10 ~ 30W.Ubos sa ingon nga mga kondisyon, ang plasma nga namugna mahimong mag-ipon aron mahimong usa ka nipis nga pelikula sa ibabaw sa workpiece.Ang rate sa pagtubo sa Plasma polymerization film magkalainlain sa suplay sa kuryente, monomer type ug flow rate, ug mga kondisyon sa proseso.Kasagaran, ang rate sa pagtubo mao ang 100nm / min ~ 1um / min.
(6) Parameter sukod sa Plasma polymerization
Ang mga parameter sa plasma ug mga parameter sa proseso nga sukdon sa Plasma polymerization naglakip sa: discharge voltage, discharge current, discharge frequency, Electron temperature, density, reaction group type ug concentration, etc.
——Kini nga artikulo gipagawas sa Guangdong Zhenhua Technology, atiggama sa optical coating machine.
Oras sa pag-post: Mayo-05-2023