Ang proseso sa hollow cathode ion coating mao ang mosunod:
1, Ibutang ang mga ingot sa Chin sa pagkahugno.
2, Pag-mount sa workpiece.
3, Human sa pagbakwit ngadto sa 5 × 10-3Pa, argon gas gipaila-ila ngadto sa sapaw lawak gikan sa silver tube, ug ang vacuum nga lebel sa palibot 100Pa.
4, I-on ang gahum sa bias.
5, Human sa pagpabalik sa arc gahum sa pagdilaab sa hollow cathode discharge.The glow discharge namugna sa button tube, Discharge boltahe mao ang 800 ~ 1000V, Ang arc-pagpataas sa kasamtangan mao ang 30 ~ 50A.Tungod sa hollow cathode epekto sa kahayag discharge, High glow discharge current density, Ang taas nga densidad sa rat ions sa silver tube nagbomba sa bungbong sa vantage tube, Himoa nga ang tube wall paspas nga magpainit sa emission sa electron flow, ang discharge mode gikan sa glow discharge kalit nga pagbag-o sa arc discharge, Boltahe mao ang 40 ~ 70V, Current mao ang 80 ~ 300A.Silver tube temperatura moabot sa ibabaw sa 2300K, Incandescent, Emits sa usa ka taas nga Densidad sapa sa arc electron gikan sa tube, ug gipusil sa anode.
6, Pag-adjust sa lebel sa vacuum. Ang lebel sa vacuum alang sa glow discharge gikan sa hollow cathode gun mao ang mahitungod sa 100 Pa, Ug ang vacuum degree sa coating mao ang 8 × 10-1 ~ 2Pa. Busa, Human sa ignition sa arc discharge, Bawasan ang umaabot nga argon gas sa labing dali nga panahon, I-adjust ang lebel sa vacuum sa usa ka range nga angay alang sa coating.
7,Titanium plated base layer.Electron flow ngadto sa anodically collapsed Chin metal ingot,Conversion sa kinetic energy ngadto sa thermal energy,Evaporation sa Chin metal pinaagi sa pagpainit,Ang mga atomo sa singaw makaabot sa workpiece aron maporma ang titanium film.
8, Deposition sa TiN.Nitrogen gas gihatag ngadto sa taklap nga lawak, Nitrogen gas ug evaporated atomo mga ionized ngadto sa nitroheno ug titanium ions.Above sa crucible, Mas taas nga kalagmitan sa inelastic pagbangga sa titanium alisngaw atoms uban sa dasok nga sapa sa ubos-enerhiya electron, Ang metal dissociation rate ingon kataas sa 20% ~ 40%., Titanium ions mas lagmit nga mo-react sa kemikal sa reaksyon nga gas nitrogen, Deposition aron makakuha og nitride mantle film layer. sa ionization.Atol sa taklap,Ang kasamtangan sa electromagnetic coil sa palibot sa crucible kinahanglan usab nga adjust,Ipokus ang electron beam sa sentro sa pagkahugno,Sa ingon, ang gahum densidad sa electron dagan misaka.
9, Pagpatay. Human ang gibag-on sa pelikula makaabot sa gitino nang daan nga gibag-on sa pelikula, I-off ang arc power supply, Bias nga suplay sa kuryente ug suplay sa hangin.
Oras sa pag-post: Hul-08-2023