Ang Proseso sa Gamay nga Arc Source Ion Coating

Ang proseso sa cathodic arc source ion coating parehas ra sa ubang mga teknolohiya sa coating, ug ang pipila ka mga operasyon sama sa pag-instalar sa mga workpiece ug pag-vacuum wala na gisubli.

1. Paglimpyo sa pagpamomba sa mga workpiece

Sa wala pa taklap, argon gas gipaila-ila ngadto sa sapaw lawak uban sa usa ka vacuum sa 2 × 10-2Pa.

I-on ang pulso bias power supply, nga may duty cycle nga 20% ug workpiece bias nga 800-1000V.

Sa diha nga ang gahum sa arko gi-on, ang usa ka bugnaw nga field arc light discharge namugna, nga nagpagawas sa usa ka dako nga gidaghanon sa electron nga kasamtangan ug titanium ion nga kasamtangan gikan sa arc nga tinubdan, nga nahimong usa ka high-density nga plasma.Gipadali sa titanium ion ang pag-injection niini sa workpiece ubos sa negatibo nga high bias pressure nga gipadapat sa workpiece, pagpamomba ug pag-sputter sa nahabilin nga gas ug mga pollutant nga adsorbed sa ibabaw sa workpiece, ug paglimpyo ug paglimpyo sa nawong sa workpiece;Sa parehas nga oras, ang chlorine gas sa coating chamber gi-ionize sa mga electron, ug ang mga argon ions nagpadali sa pagpamomba sa nawong sa workpiece.

Busa, maayo ang epekto sa pagpanglimpyo sa bombardment.Mga 1 ka minuto ra nga paglimpyo sa bombardment ang makalimpyo sa workpiece, nga gitawag nga "main arc bombardment".Tungod sa taas nga masa sa mga titanium ions, kung ang usa ka gamay nga gigikanan sa arko gigamit sa pagpamomba ug paglimpyo sa workpiece sa dugay nga panahon, ang temperatura sa workpiece dali nga mag-overheating, ug ang sulud sa himan mahimong humok.Sa kinatibuk-an nga produksiyon, ang gagmay nga mga gigikanan sa arko gibalik sa usag usa gikan sa taas hangtod sa ilawom, ug ang matag gamay nga gigikanan sa arko adunay oras sa paglimpyo sa pagpamomba nga mga 1 minuto.

（1）Pagpahid sa titanium sa ilawom nga layer

Aron sa pagpalambo sa adhesion tali sa pelikula ug substrate, usa ka layer sa lunsay nga titanium substrate kasagaran adunay sapaw sa atubangan sapaw titanium nitride.I-adjust ang lebel sa vacuum ngadto sa 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, i-adjust ang workpiece bias voltage sa 400-500V, ug i-adjust ang duty cycle sa pulse bias power supply ngadto sa 40% ~ 50%.Nagdilaab gihapon ang gagmay nga mga gigikanan sa arko nga usa-usa aron makamugna ang bugnaw nga pag-arcing sa uma.Tungod sa pagkunhod sa negatibo nga bias boltahe sa workpiece, ang kusog sa titanium ions mikunhod.Human sa pagkab-ot sa workpiece, ang sputtering epekto mao ang ubos pa kay sa deposition epekto, ug usa ka titanium transition layer naporma sa workpiece aron sa pagpalambo sa bonding pwersa sa taliwala sa titanium nitride lisud nga film layer ug sa substrate.Kini nga proseso mao usab ang proseso sa pagpainit sa workpiece.Kung ang lunsay nga target sa titanium gipagawas, ang kahayag sa plasma asul nga asul.

1.Ammoniated bowl hard film coating

I-adjust ang vacuum degree sa 3 × 10^-1-5Pa, usba ang workpiece bias boltahe sa 100-200V, ug adjust sa katungdanan cycle sa pulse bias power supply ngadto sa 70% ~ 80%.Pagkahuman gipaila ang nitroheno, ang titanium usa ka kombinasyon nga reaksyon sa arc discharge plasma aron ideposito ang titanium nitride hard film.Niini nga punto, ang kahayag sa plasma sa vacuum chamber kay cherry red.Kung si C₂H₂, O₂, ug uban pa gipaila, TiCN, TiO₂, ug uban pa ang mga layer sa pelikula mahimong makuha.

–Kini nga artikulo gipagawas ni Guangdong Zhenhua, avacuum coating machine manufacturer