Kini nga serye sa mga ekipo naggamit sa mga target sa magnetron aron mabag-o ang mga materyales sa coating ngadto sa mga partikulo nga gidak-on sa nanometer, nga gideposito sa nawong sa mga substrate aron maporma ang nipis nga mga pelikula.Ang giligid nga pelikula gibutang sa vacuum chamber.Pinaagi sa electrically driven winding structure, ang usa ka tumoy nakadawat sa pelikula ug ang lain nagbutang sa pelikula.Nagpadayon kini sa pag-agi sa target nga lugar ug nakadawat sa target nga mga partikulo aron maporma ang usa ka dasok nga pelikula.
Kinaiya:
1. Ubos nga temperatura nga pagporma sa pelikula.Ang temperatura adunay gamay nga epekto sa pelikula ug dili makahimo og deformation.Kini angay alang sa PET, PI ug uban pang mga base nga materyal nga coil films.
2. Ang gibag-on sa pelikula mahimong gidisenyo.Ang nipis o baga nga mga taklap mahimong gidisenyo ug ideposito pinaagi sa pag-adjust sa proseso.
3. Daghang disenyo sa lokasyon sa target, flexible nga proseso.Ang tibuuk nga makina mahimong magamit sa walo ka mga target, nga magamit ingon yano nga mga target nga metal o mga target sa compound ug oxide.Mahimo kining gamiton sa pag-andam sa single-layer films nga adunay single structure o multi-layer films nga adunay composite structure.Ang proseso kay flexible kaayo.
Ang mga ekipo makaandam sa electromagnetic shielding film, flexible circuit board coating, nagkalain-laing dielectric films, multi-layer AR antireflection film, HR high antireflection film, color film, ug uban pa ang mga ekipo adunay lapad kaayo nga mga aplikasyon, ug single-layer film deposition mahimong makompleto pinaagi sa usa ka higayon nga pagdeposito sa pelikula.
Ang mga ekipo mahimong mosagop sa yano nga mga target sa metal sama sa Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, ug uban pa, o mga target nga compound sama sa SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, ug uban pa.
Ang kagamitan gamay sa gidak-on, compact sa istruktura nga disenyo, gamay sa salog nga lugar, ubos sa konsumo sa enerhiya, ug flexible sa pag-adjust.Angayan kaayo alang sa proseso sa panukiduki ug pag-uswag o gamay nga batch mass production.