L'attrezzatura adopta a tecnulugia di evaporazione di fasciu elettroni.L'elettroni sò emessi da u filamentu di u catodu è cuncentrati in una certa corrente di fasciu, chì hè accelerata da u putenziale trà u catodu è u crucible per funnu è evaporà u materiale di revestimentu.Hà e caratteristiche di alta densità di energia è pò evaporà u materiale di rivestimentu cù un puntu di fusione di più di 3000 ℃.A film hà alta purità è alta efficienza termale.
L'equipaggiu hè dotatu di una fonte di evaporazione di fasciu elettroni, fonte di ioni, sistema di monitoraghju di u spessore di film, struttura di currezzione di spessore di film è sistema di rotazione di pezzi di travagliu stabile.Attraversu u revestimentu assistitu da fonte di ioni, a compattezza di a film hè aumentata, l'indice di rifrazione hè stabilizatu, è u fenomenu di a variazione di a lunghezza d'onda per l'umidità hè evitata.U sistema di monitorizazione in tempu reale di u spessore di film in pienu autumàticu pò assicurà a ripetibilità è a stabilità di u prucessu.Hè dotatu di funzione di autofusione per riduce a dipendenza da e cumpetenze di l'operatore.
L'equipaggiu hè applicabile à diversi ossidi è materiali di rivestimentu metallicu, è pò esse rivestitu cù filmi ottici di precisione multistrati, cum'è film AR, passaghju d'onda longa, passa d'onda curta, film luminoso, film AS / AF, IRCUT, sistema di film di culore. , sistema di film gradiente, etc. Hè stata largamente utilizata in lenti AR, lenti ottichi, camere, lenti ottichi, filtri, industrii di semiconduttori, etc.