GX600

L'equipaggiu adopta una struttura verticale di a porta frontale è un layout di cluster.Pò esse equipatu di fonti di evaporazione per metalli è diversi materiali organici, è ponu evaporà wafers di siliciu di diverse specificazioni.Dotatu di un sistema di allineamentu di precisione, u revestimentu hè stabile è u revestimentu hà una bona ripetibilità.
L'equipaggiu di rivestimentu GX600 pò evaporà in modu precisu, uniforme è cuntrullabile i materiali organici chì emettenu luce o materiali metallici nantu à u sustrato.Hà i vantaghji di a furmazione di film simplice, alta purità è alta compattezza.U sistema di monitorizazione in tempu reale di u spessore di film in pienu autumàticu pò assicurà a ripetibilità è a stabilità di u prucessu.Hè dotatu di funzione di autofusione per riduce a dipendenza da e cumpetenze di l'operatore.
L'attrezzatura pò esse appiicata à Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti è altri materiali metallichi, è ponu esse rivestiti cù film di metallu, film di strati dielettrici, film IMD, etc. industria, cum'è i dispusitivi putenza, semiconductor imballaggio posteriore sustrato coating, etc.