HFCVD0606

A camera di rivestimentu in vacuum di l'equipaggiu di deposizione di vapore chimicu adopta una struttura indipendente di rinfrescante d'acqua à doppia strata, chì hè efficiente è uniforme in u rinfrescante, è hà una struttura sicura è stabile.L'equipaggiu hè cuncepitu cù porte doppie, finestre d'osservazione multiple è interfacce di espansione multiple, chì hè cunvenutu per a cunnessione esterna di periferiche ausiliarii cum'è a misurazione di a temperatura infrared, l'analisi spettrali, u monitoraghju video è a termocoppia.U cuncettu di cuncepimentu avanzatu rende a revisione è mantenimentu di ogni ghjornu, u cambiamentu di cunfigurazione è l'aghjurnamentu di l'equipaggiu faciule è simplice, è riduce in modu efficace i costi di l'usu è di l'aghjurnamentu.

Caratteristiche di l'equipaggiu:

1. I cumpunenti di l'inflazione di l'equipaggiu includenu principalmente un metru di flussu di massa, una valvula solenoide è un tank di mischju di gas, chì assicuranu u cuntrollu precisu di u flussu di gasu di prucessu, un mischju uniforme è un isolamentu sicuru di diversi gasi, è ponu selezziunà cumpunenti di u sistema di gas per l'usu di surghjente di gas liquidu, facilitate a selezzione persunalizata di una larga gamma di fonti di carbonu liquidu, è l'usu sicuru di surghjenti di boru liquidu di diamante conduttivu sinteticu è elettrodu.
2.L'assemblea di l'estrazione di l'aria hè furnuta cù una pompa di vacuum rotary silenziu è efficiente è un sistema di pompa turbomolecular chì pò scuntrà rapidamente l'ambiente di fondo di vacuum altu.U calibre di vacuum compositu cù calibre di resistenza è calibre di ionizazione hè utilizatu per a misurazione di vacuum, è ancu u sistema di calibre di film capacitivu chì pò misurà a pressione di diversi gasi di prucessu in una larga gamma.A pressione di deposizione hè cuntrullata cumplettamente in autumàticu da una valvola di cuntrollu proporzionale d'alta precisione.
3.The cumpunenti acqua di rinfrescante hè furnutu cù multi-canale prissioni d'acqua, flussu, misura temperatura è surviglianza autumàticu prugrammu.Diversi cumpunenti di rinfrescante sò indipendenti l'una di l'altru, chì hè cunvenutu per un diagnosticu rapidu di difetti.Tutti i rami anu interruttori di valvula indipendenti, chì hè sicuru è efficiente.
4.The cumpunenti cuntrollu elettricu adopranu schermu LCD interfaccia omu-macchina grande-taglia è cuopere cù PLC cuntrollu full-autumàticu à facilità l 'editing è impurtazioni di a formula di prucessu.A curva gràfica mostra visualmente i cambiamenti è i valori di diversi paràmetri, è l'equipaggiu è i paràmetri di u prucessu sò automaticamente arregistrati è archiviati per facilità a traccia di prublemi è l'analisi statistiche di dati.
5.U rack di u travagliu hè equipatu di un servomotore per cuntrullà l'elevazione è a calata di a tavola di sustrato.U tavulu di sustrato di grafite o di cobre rossu pò esse sceltu.A temperatura hè misurata da un termocoppiu.
6.I cumpunenti rack pò esse disignati cum'è un sanu o separatamente secondu i bisogni di u cliente per risponde à i bisogni di manipolazione speciale di i clienti.
7.I cumpunenti di piastra di sigillatura sò belli è eleganti.I platti di sigillatura in diverse zone di moduli funziunali di l'equipaggiu ponu esse rapidamente disassemblati o aperti è chjusi indipindentamente, chì hè assai còmuda d'utilizà.

L'attrezzatura CVD di filamentu caldu hè adattatu per deposità materiali di diamanti, cumpresi revestimentu di film sottile, film grossu autosuportante, diamante microcristallino è nanocristallino, diamante conduttivu, etc. Hè principalmente utilizatu per u revestimentu protettivu resistente à l'usura di arnesi di taglio di carburu cementatu, materiali semiconduttori. cum'è u silicuu è u carburu di siliciu, u revestimentu di dissipazione di u calore di i dispositi, l'elettrodu di diamante conduttivu dopatu di boru, a disinfezione di l'ozone di l'acqua elettrolitica o u trattamentu di l'acqua.