L'equipaggiu integra a tecnulugia di sputtering di magnetron è di evaporazione di resistenza, è furnisce una soluzione per u rivestimentu di una varietà di sustrati differenti.
L'equipaggiu di rivestimentu sperimentale hè principalmente utilizatu in università è istituzioni di ricerca scientifica, è ponu risponde à una varietà di esigenze sperimentali.Diversi obiettivi strutturali sò riservati per l'equipaggiu, chì ponu esse cunfigurati in modu flessibile per scuntrà a ricerca è u sviluppu scientificu in diversi campi.Sistema di sputtering Magnetron, sistema d'arcu catodu, sistema di evaporazione di fasciu elettroni, sistema di evaporazione di resistenza, CVD, PECVD, fonte di ioni, sistema bias, sistema di riscaldamentu, attellu tridimensionale, etc.I clienti ponu selezziunà secondu e so diverse esigenze.
L'attrezzatura hà e caratteristiche di una bella apparenza, una struttura compatta, una piccula superficie, un altu gradu d'automatizazione, un funziunamentu simplice è flessibile, un rendimentu stabile è un mantenimentu faciule.
L'attrezzatura pò esse appiicata à plastica, acciaio inox, hardware electroplated / parti di plastica, vetru, ceramica è altri materiali.Puderanu esse preparati strati di metalli simplici cum'è titaniu, cromu, argentu, rame, aluminiu o film composti di metalli cum'è TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC.
ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |