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Vantaggi di i mira cilindrica

Fonte di l'articulu: Zhenhua vacuum
Leghjite: 10
Publicatu : 23-05-11

1) Obiettivi cilindrichi hà una rata d'utilizazione più alta cà i miri piani.In u prucessu di rivestimentu, s'ellu hè un tippu magneticu rotativu o un scopu di sputtering cilindric di tippu di tubu rotativu, tutte e parti di a superficia di u tubu di destinazione passanu continuamente per l'area di sputtering generata davanti à u magnetu permanente per riceve sputtering catodico, è target pò esse uniformi sputtered etched, è u tassu di usu di mira hè altu.U tassu d'utilizazione di i materiali di destinazione hè di circa 80% ~ 90%.

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2) Obiettivi cilindrichi ùn saranu micca faciuli di pruduce "avvelenamentu di destinazione".Duranti u prucessu di revestimentu, a superficia di u tubu di destinazione hè sempre sputtered è incisa da i ioni, è ùn hè micca faciule d'accumulà ossidi grossi è altri filmi insulanti nantu à a superficia, è ùn hè micca faciule di pruduce "avvelenamentu di destinazione".

 

3) A struttura di u tippu di sputtering cilindricu di u tubu di destinazione rotativu hè simplice è faciule d'installà.

 

4) U materiale di u tubu di destinazione cilindrica hà parechji tipi.target planar with metal target direct water cooling, è certi ùn ponu esse processati è furmati target cylindrical, cum'è u target In2-SnO2, etc. cù materiale in polvere per pressing isostaticu caldu per ottene target-like plate, perchè a dimensione ùn pò esse fatta. grande, è fragile, cusì hè necessariu di utilizà u metudu di brasatura è u backplate di ramu per integrà è poi stallà nantu à a basa di destinazione.In più di i tubi di metallu, l'obiettivi di colonna ponu ancu esse spruzzati nantu à a superficia di i tubi d'acciaio inox cù diversi materiali chì deve esse rivestiti, cum'è Si, Cr, etc.

 

Attualmente, a proporzione di mira cilindrica per u revestimentu in a produzzione industriale hè in crescita.Obiettivi cilindrichi ùn sò micca solu utilizati per a macchina di rivestimentu verticale, ma ancu in a macchina di rivestimentu roll to roll.Nta l'ultimi anni, l'obiettivi gemelli planari sò gradualmente rimpiazzati da l'obiettivi gemelli Cilindrici.

——Stu articulu hè statu liberatu da Guangdong Zhenhua Technology, afabricatore di macchine di rivestimentu otticu.


Tempu di Post: 11-May-2023