A tecnulugia di rivestimentu CVD hà e seguenti caratteristiche:
1. L'operazione di prucessu di l'equipaggiu CVD hè relativamente simplice è flexible, è pò preparà filmi singuli o cumposti è filmi di lega cù proporzioni diffirenti;
2. Revestimentu CVD hà una larga gamma di appiicazioni, è pò ièssiri usatu a priparà varii metallu o di metallu film coatings;
3. Alta efficienza di pruduzzione per via di i tassi di deposizioni chì varienu da uni pochi microni à centinaie di microni per minutu;
4. Comparatu cù u metudu PVD, CVD hà un rendimentu di diffrazione megliu è hè assai adattatu per i sustrati di revestimentu cù forme cumplesse, cum'è groove, buchi rivestiti, è ancu strutture di buchi cecu.U revestimentu pò esse chjappu in una film cù una bona compattezza.A causa di l'alta temperatura durante u prucessu di furmazione di film, è a forte adesione nantu à l'interfaccia di sustrato di film, a capa di film hè assai ferma.
5. U dannu causatu da a radiazione hè relativamente bassu è pò esse integratu cù i prucessi di circuiti integrati MOS.
——Stu articulu hè publicatu da Guangdong Zhenhua, aU fabricatore di macchine di rivestimentu di vacuum
Tempu di Postu: 29-Mar-2023