Requisiti ambientali per l'equipaggiu di rivestimentu di vacuum

Dapoiequipaggiu di rivestimentu di vacuumtravaglia in cundizioni di vacuum, l'equipaggiu deve risponde à i requisiti di vacuum per l'ambiente.I standard di l'industria per i vari tipi di l'equipaggiu di rivestimentu di vacuum formulate in u mo paese (cumprese e cundizioni tecniche generali per l'equipaggiu di rivestimentu di vacuum, l'equipaggiu di rivestimentu di ioni di vacuum, l'equipaggiu di rivestimentu di sputtering in vacuum, è l'equipaggiu di rivestimentu di evaporazione di vacuum) anu stabilitu chjaramente i requisiti ambientali.Solu rispettendu i requisiti ambientali di l'equipaggiu di rivestimentu di vacuum, l'equipaggiu pò funzionà nurmale, è cù u prucessu di rivestimentu currettu, ponu esse prudutte i prudutti di rivestimentu qualificati.

I requisiti di l'ambiente di vacuum generalmente includenu i requisiti di l'equipaggiu di vacuum per l'ambiente circondu, cum'è a temperatura di u laboratoriu (o attellu), u scarsu prufittu in l'aria, è i requisiti per e parti o superfici in un statu di vacu o in u vacuum. un vacuum.Sti dui aspetti sò strettamente ligati.A qualità di l'ambiente circondu affetta direttamente l'usu normale di l'equipaggiu di vacuum, è se a camera di vacuum di l'equipaggiu di vacuum o e parti caricate in questu hè pulita direttamente affetta u rendiment di l'equipaggiu.Se l'aria cuntene assai vapore d'acqua è polvera, è a camera di vacuum ùn hè micca stata pulita, hè difficiule di ottene u gradu di vacuum desideratu usendu una pompa meccanica sigillata d'oliu per pompà l'aria.Comu tutti sapemu, e pompe meccaniche sigillate à l'oliu ùn sò micca adattati per u pumping gasi chì sò corrosivi à i metalli, chimicamenti reattivi à l'oliu di vacuum, è cuntenenu polveri particulate.U vapore d'acqua hè un gasu condensable.Quandu a pompa pompa una grande quantità di gas condensable, a contaminazione di l'oliu di pompa serà più seriu.In u risultatu, l'ultime vacuum di a pompa caderà è a prestazione di pumping di a pompa serà distrutta.

E cundizioni normali di travagliu di l'equipaggiu di rivestimentu di vacuum sò:

① Temperature ambiante 10~30℃;

② L'umidità relativa ùn hè micca più di 70%;

③ A temperatura di l'acqua di rinfrescante ùn hè micca più altu di 25 ° C;

④ Qualità di l'acqua di rinfrescante L'acqua di u rubinettu di a cità o l'acqua di qualità equivalente;

⑤ Tensione di alimentazione: 380V, trifase 50Hz o 220V, monofase 50Hz (secondu i bisogni di l'apparecchi elettrici utilizati), intervallu di fluttuazione di tensione 342 ~ 399V o 198 ~ 231V, intervallu di fluttuazione di frequenza 49 ~ 51Hz;

⑥A pressione, a temperatura è u cunsumu deve esse dichjarate in u manuale d'istruzzioni di u produttu;

⑦ L'ambiente intornu à l'equipaggiu hè pulitu è ​​​​l'aria hè pulita, è ùn deve esse micca polvera o gasu chì pò causà a corrosione di a superficia di l'apparecchi elettrici è altre parti metalliche o pruvucà a cunduzzione elettrica trà metalli.

Inoltre, u laboratoriu o l'attellu induve si trova l'attrezzatura di revestimentu di vacuum deve esse manteni puliti è igienici.U pianu hè terrazzo o pavimentu di lignu dipintu, senza polvere.Per impedisce chì u gasu scaricatu da a pompa meccanica inquinassi l'ambiente di u laboratoriu, pò esse usatu in u portu di scarico di a pompa.Installa un tubu di scarico (metallu, tubu di gomma) nantu à a superficia per scaricate u gasu fora.