1. Tecnulugia termale CVD
I rivestimenti duri sò soprattuttu revestimenti ceramichi di metallu (TiN, etc.), chì sò furmati da a reazzione di metalli in u revestimentu è a gasificazione reattiva.À u principiu, a tecnulugia CVD termale hè stata aduprata per furnisce l'energia d'attivazione di a reazione cumminata da l'energia termale à una temperatura alta di 1000 ℃.Questa temperatura hè adattata solu per dipositu TiN è altri rivestimenti duri nantu à arnesi di carburu cementatu.Finu a ora, hè sempre una tecnulugia impurtante per deposità i rivestimenti cumposti TiN-Al20 nantu à teste di utensili di carburu cimentatu.
2. Revestimentu di ioni di catodu cavu è rivestimentu di ioni d'arcu di filu caldu
In l'anni 1980, u revestimentu di ioni di catodu cavu è u revestimentu di ioni d'arcu di filu caldu sò stati utilizati per deposità strumenti di taglio rivestiti.Tramindui sti tecnulugii di rivestimentu di ioni sò tecnulugii di rivestimentu di ioni di scarica d'arcu, cù una rata di ionizazione di metalli finu à u 20% ~ 40%.
3. Cathode arc ion coating
L'emergenza di u revestimentu di ioni d'arcu catodicu hà purtatu à u sviluppu di a tecnulugia di depositu di rivestimenti duri nantu à i muffa.A rata di ionizazione di u revestimentu di ioni d'arcu catodicu hè di 60% ~ 90%, chì permette à un gran numaru di ioni metallichi è ioni di gas di reazione per ghjunghje à a superficia di a pezza di travagliu è mantenenu sempre una attività elevata, risultatu in a deposizione di reazione è a furmazione di rivestimenti duri cum'è TiN.Attualmente, a tecnulugia di rivestimentu di ioni d'arcu catodicu hè principalmente aduprata per deposità rivestimenti duri nantu à stampi.
A fonte di l'arcu di catodu hè una fonte di evaporazione di u statu solidu senza una piscina fusa fissa, è a pusizione di l'arcu di l'arcu pò esse piazzata arbitrariamente, migliurendu u tassu d'utilizazione di u spaziu di a sala di rivestimentu è aumentendu a capacità di carica di u fornu.E forme di fonti d'arcu di catodu includenu fonti d'arcu di catodu circulari picculi, fonti d'arcu di colonna, è fonti d'arcu rettangulari piatte grandi.Diversi cumpunenti di fonti d'arcu chjucu, fonti d'arcu di colonna è fonti d'arcu grande ponu esse disposti separatamente per deposità film multi-layer è nano film multilayer.Intantu, per via di l'altu ritmu di ionizazione di metalli di u revestimentu di ioni di l'arcu catodicu, i ioni metallici ponu assorbe più gasi di reazione, risultannu in una larga gamma di processi è operazione simplice per ottene eccellenti rivestimenti duri.Tuttavia, ci sò gocce grossolane in a microstruttura di a capa di revestimentu ottenuta da u revestimentu di ioni d'arcu catodicu.Nta l'ultimi anni, parechje tecnulugia novi sò emerse per rinfurzà a struttura di a capa di film, chì hà migliuratu a qualità di a film di revestimentu di ioni d'arcu.
——Stu articulu hè statu liberatu da Guangdong Zhenhua Technology, afabricatore di macchine di rivestimentu otticu.
Tempu di Postu: Apr-28-2023