Prucessu di polimerizazione diretta di plasma

Prucessu di polimerizazione diretta di plasma

U prucessu di polimerizazione di Plasma hè relativamente simplice per l'equipaggiu di polimerizazione di l'elettrodu internu è l'equipaggiu di polimerizazione di l'elettrodu esternu, ma a selezzione di parametri hè più impurtante in a polimerizazione di Plasma, perchè i paràmetri anu un impattu maiò in a struttura è u rendiment di i film polimeri durante a polimerizazione di Plasma.

I passi di l'operazione per a polimerizazione diretta di plasma sò i seguenti:

(1) Vacuuming

U vacuum di fondo di polimerizazione in cundizioni di vacuum deve esse pumped à 1,3 × 10-1Pa.Per e reazzioni di polimerizazione chì necessitanu esigenze speciali per u cuntrollu di l'ossigenu o u cuntenutu di nitrogenu, u requisitu di vacuum di fondo hè ancu più altu.

(2) Monomeru di reazione di carica o gasu mistu di gasu trasportatore è monomeru

U gradu di vacuum hè 13-130Pa.Per a polimerizazione di plasma chì necessitanu travagliu, u modu di cuntrollu di u flussu adattatu è u flussu di u flussu deve esse sceltu, in generale 10.100mL / min.In u plasma, e molécule monomeri sò ionizzate è dissociate da u bumbardamentu di particeddi energetichi, risultatu in particeddi attivi cum'è ioni è genes attivi.E particelle attive attivate da u plasma ponu sottumette a polimerizazione di u Plasma à l'interfaccia di a fase gasosa è a fase solida.U monomeru hè a fonte di precursore per a polimerizazione di Plasma, è u gasu di reazione d'ingressu è u monomeru duverà una certa purezza.

(3) Selezzione di l'alimentazione d'excitazione

U plasma pò esse generatu utilizendu fonti di energia DC, alta frequenza, RF o microonde per furnisce un ambiente di plasma per a polimerizazione.A selezzione di l'alimentazione hè determinata nantu à i requisiti per a struttura è u rendiment di u polimeru.

(4) Selezzione di u modu di scaricamentu

Per esigenze di polimeru, a polimerizazione di plasma pò sceglie dui modi di scaricamentu: scaricamentu cuntinuu o scaricamentu di impulsu.

(5) Selezzione di paràmetri di scaricamentu

Quandu si cunduce a polimerizazione di plasma, i paràmetri di scaricamentu anu da esse cunsideratu da i paràmetri di plasma, proprietà di polimeru è esigenze di struttura.A magnitudine di a putenza applicata durante a polimerizazione hè determinata da u voluminu di a camera di vacuum, a dimensione di l'elettrodu, u flussu è a struttura di u monomeru, a tarifa di polimerizazione, è a struttura è u rendiment di polimeru.Per esempiu, se u voluminu di a camera di reazzione hè 1L è a polimerizazione di Plasma RF hè aduttatu, u putere di scaricamentu serà in a gamma di 10 ~ 30W.In tali cundizioni, u plasma generatu pò aggregate per furmà una film fina nantu à a superficia di u travagliu.U tassu di crescita di a film di polimerizazione di Plasma varieghja cù l'alimentazione, u tipu di monomeru è u flussu, è e cundizioni di prucessu.In generale, u tassu di crescita hè 100nm/min ~ 1um/min.

(6) Misurazione di i paràmetri in a polimerizazione di Plasma

I paràmetri di plasma è i paràmetri di prucessu per esse misurati in a polimerizazione di plasma includenu: tensione di scaricamentu, corrente di scarica, frequenza di scaricamentu, temperatura di l'elettroni, densità, tipu di gruppu di reazione è cuncentrazione, etc.

——Stu articulu hè statu liberatu da Guangdong Zhenhua Technology, afabricatore di macchine di rivestimentu otticu.