Prucessu di rivestimentu di ioni catodi cavu

U prucessu di rivestimentu di ioni catodi cavu hè u seguitu:

1, Mette i lingotti di Chin in u colapsu.

2 、 Muntà a pezza di travagliu.

3、Dopu evacuazione à 5 × 10-3Pa, u gasu argon hè introduttu in a camera di rivestimentu da u tubu d'argentu, è u livellu di vacuum hè intornu à 100Pa.

4 、 Accende u putere bias.

5、Dopu accende u putere di l'arcu per accende a scarica di catodu cavu. A scarica di catodu hè generata in u tubu di u buttone, a tensione di scarica hè 800 ~ 1000V, u currente di l'arcu hè 30 ~ 50A. scaricamentu, Alta densità di corrente di scarica incandescente, L'alta densità di ioni di ratti in u tubu d'argentu bombarda u muru di u tubu vantage, Fate chì u muru di u tubu si riscalda rapidamente à l'emissione di flussu di elettroni, u modu di scaricamentu da a scarica luminosa cambia bruscamente à scarica d'arcu, a tensione hè 40 ~ 70V, a currente hè 80 ~ 300A. A temperatura di u tubu d'argentu righjunghji sopra à 2300K, Incandescente, emette un flussu di alta densità di elettroni d'arcu da u tubu, è sparatu à l'anodu.

6 、 Ajustamentu di u livellu di vacu. U livellu di vacu per a scarica incandescente da a pistola di catodu cavu hè di circa 100 Pa, È u gradu di vacuum di revestimentu hè 8 × 10-1 ~ 2Pa. Per quessa, dopu l'ignizione di a scarica di l'arcu, riduce l'argon entrante. gas u più prestu pussibule, Aghjustate u livellu di vacuum à un intervallu adattatu per u revestimentu.

7 、 Stratu di basa di Titaniu. Flussu di l'elettroni nantu à u lingotto di metallu Chin colapsatu anodicamente, Cunversione di l'energia cinetica in energia termica, Evaporazione di u metallu Chin per riscaldamentu, L'atomi di vapore ghjunghjenu à u pezzu per furmà un film di titaniu.

8 、 Depositu di TiN. U gasu di azotu hè furnitu à a camera di rivestimentu, u gasu di azotu è l'atomi evaporati sò ionizzati in ioni di nitrogenu è di titaniu. Sopra u crucible, Probabilità più alta di scontri inelastici di atomi di vapore di titaniu cù densi flussi di elettroni di bassa energia, U tassu di dissociazione di u metale hè più altu di 20% ~ 40%.,Ioni di titaniu sò più probabili di reagisce chimicamente cù l'azotu di gasu di reazione,Depositu per ottene una strata di film di mantellu di nitruru. A pistola di catodu cavu hè à tempu una fonte di vaporizazione，Una altra fonte. di ionization.During coating,U currenti di a bobina elettromagnetica intornu à u crucible deve ancu esse aghjustatu,Focus u fasciu di elettroni à u centru di u colapsu,Cusì, a densità di putenza di u flussu di l'elettroni hè aumentata.

9 、 Power Off.Dopu chì u spessore di film righjunghji u spessore di film predeterminatu, disattivate l'alimentazione di l'arcu, l'alimentazione bias è l'alimentazione d'aria.