A lege di crescita di a strata di film di rivestimentu di l'evaporazione di vacuum

Durante u revestimentu di evaporazione, a nucleazione è a crescita di a strata di film sò a basa di diverse tecnulugia di rivestimentu di ioni.

1.Nucleazione

Intecnulugia di rivestimentu di l'evaporazione di vacuum,Dopu chì i particeddi di a strata di film sò evaporati da a fonte di evaporazione in forma di atomi, volanu direttamente à a pezza di travagliu in vacuum altu è formanu a capa di film per nucleazione è crescita nantu à a superficia di u travagliu.Duranti l'evaporazione in vacuum, l'energia di l'atomi di a capa di film chì scappanu da a fonte di evaporazione hè di circa 0.2eV.Quandu a coesione trà e particelle di a strata di film hè più grande di a forza di ligame trà l'atomi di a strata di film è a pezza, formanu un nucleu isulanu.Un atomu unicu stratu di film ferma nantu à a superficia di u pezzu di travagliu per a durata di u tempu facendu u muvimentu irregulare, diffusione, migrazione, o scontru cù altri atomi per furmà clusters atomichi U numeru di atomi in u cluster atomicu righjunghji un certu valore criticu, una stabile. nucleus hè furmatu, chjamatu un nucleu homogeneous shaped.

liscia, è cuntene assai difetti è passi, chì provoca a diffarenza in a forza adsorption di sfarenti parti di u workpiece à l 'atomi radiuattivi.L'energia di l'adsorption di a superficia di u difettu hè più grande di quella di a superficia normale, cusì diventa u centru attivu, chì hè favurevule à a nucleazione preferenziale, chjamata nucleazione heterogeneous.Quandu a forza cohesive hè uguali à a forza di ubligatoriu, o a forza di ubligatoriu trà l'atomi di a membrana è a pezza hè più grande di a forza di cohesive trà l'atomi di a membrana, a struttura lamellar hè furmata.In a tecnulugia di placcatura ionica, u core isulanu hè furmatu in a maiò parte di i casi.

2.Crescita

Una volta chì u core di u filmu hè furmatu, cuntinueghja a crescita per intrappulà l'atomi incidenti. L'isuli crescenu è si combinanu cù l'altri per furmà emisferi più grande, furmendu gradualmente una capa isulana hemisferica chì si sparghje nantu à a superficia di u travagliu.

Quandu l'energia atomica di a strata di film hè alta, pò esse diffusa abbastanza nantu à a superficia è un filmu cuntinuu lisu pò esse furmatu quandu i gruppi atomichi successivi entranti sò small.If a diffusione di l'atomi nantu à a superficia hè debule è a dimensione di i clusters dipositu hè grande, esistenu cum'è grandi nuclei peninsulari. A cima di u core isulanu hà un forte effettu di ombrezza nantu à a parte cuncave, chì hè l'"effettu d'ombra". A prughjezzione di a superficia hè più favurevule à catturà l'atomi dipositati successivi. è crescita preferenziale, risultatu in un gradu crescente di concavità nantu à a superficia per furmà cristalli cunici o colonnari di grandezza abbastanza.I vuoti penetranti sò furmati trà i cristalli cunici è u valore di rugosità di a superficia aumenta. U tissutu fine pò esse acquistatu à u vacuum altu, cù a diminuzione di u gradu di vacuum, a microstruttura di a membrana diventa più grossa è più grossa.