Urivestimentu di vacuumU prucessu di a macchina hè divisu in: rivestimentu di evaporazione vacuum, rivestimentu di sputtering vacuum è rivestimentu di ioni vacuum.
1 、 Rivestimentu di l'evaporazione di vacuum
Sutta a cundizione di vacuum, fate u materiale evaporatu, cum'è u metallu, lega di metalli, etc., poi dipositeli nantu à a superficia di u sustrato, u metudu di revestimentu di evaporazione hè spessu aduprate riscaldamentu di resistenza, è poi bombardamentu di fasciu elettroni di u materiale di rivestimentu, fateli. evaporated in fase di gas, poi dipositu nant'à a superficia sustrato, storicamenti, depositu vacuum vapor hè a tecnulugia prima usata in u metudu PVD.
2 、 Rivestimentu sputtering
U gasu hè sottumessu à una scarica incandescente in condizioni di vacuum pienu di (Ar) In questu mumentu l'atomi di argon (Ar) ioni in ioni di nitrogenu (Ar), l'ioni sò accelerati da a forza di u campu elettricu, è bombardeanu u mira di catodu chì hè fattu di u materiale di rivestimentu, u target sarà sputtered fora è dipositu nantu à a superficia di u sustrato Ioni incidenti in sputter coating, generalmente ottenuti da scarica incandescente, sò in a gamma di 10-2pa à 10Pa, cusì e particelle sputtered sò faciuli di collisione. cù e molécule di gas in a camera di vacuum quandu vola versu u sustrato, facendu a direzzione di u muvimentu aleatoriu è a film dipositu faciule per esse uniforme.
3 、 Revestimentu di ioni
Sottu à e cundizioni di vacuum, Sottu vacuum, Adupratu una certa tecnica di ionizazione di plasma per ionizà parzialmente l'atomi di materiale di rivestimentu in ioni. À u listessu tempu, sò pruduciuti parechji atomi neutri d'alta energia ， chì sò preghjudiziu negativamente nantu à u sustrato. In questu modu, ioni. sò dipositati nantu à a superficia di u sustrato sottu un preghjudiziu negativu prufondu per furmà una film fina.
Tempu di post: 23-mar-2023