RCW600

Sta serie di l'equipaggiu usa i miri di magnetroni per cunvertisce i materiali di rivestimentu in particelle di dimensioni nanometriche, chì sò dipositate nantu à a superficia di i sustrati per furmà filmi sottili.U film rotulatu hè postu in a camera di vacuum.Attraversu a struttura di bobina guidata elettricamente, una estremità riceve a film è l'altru mette a film.Cuntinueghja à passà per l'area di destinazione è riceve e particelle di destinazione per furmà una film densu.
Caratteristica:

1. Formazione di film bassu temperatura.A temperatura hà pocu effettu nantu à a film è ùn pruducerà micca deformazione.Hè adattatu per PET, PI è altri film di bobina di materiale di basa.
2. U gruixu di film pò esse designatu.I rivestimenti sottili o grossi ponu esse designati è dipositati da l'aghjustamentu di u prucessu.
3. Disegnu di locu di destinazione multiple, prucessu flexible.L'intera macchina pò esse furnita cù ottu mira, chì ponu esse usate sia cum'è miri di metalli simplici sia cumposti è ossidi.Pò esse usatu per preparà filmi di una sola capa cù una struttura unica o filmi multistrati cù una struttura composta.U prucessu hè assai flexible.

L'attrezzatura pò preparà film di schermatura elettromagnetica, rivestimentu di circuitu flexible, diversi filmi dielettrici, film antiriflesso AR multi-layer, film antiriflesso HR, film di culore, etc. L'equipaggiu hà una larga gamma di applicazioni, è deposizione di film unicu stratu. pò esse cumpletu da una deposizione di film una volta.
L'equipaggiu pò aduttà miri di metalli simplici cum'è Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, etc., o miri composti cum'è SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, etc.

L'attrezzatura hè chjuca in dimensioni, compactu in u disignu di a struttura, chjuca in u pianu, pocu cunsumu d'energia, è flessibile in l'aghjustamentu.Hè assai adattatu per a ricerca è u sviluppu di u prucessu o a pruduzzione in massa di picculi batch.