L'equipaggiu adopta una struttura di cuncepimentu modulare verticale è hè dotatu di porte d'accessu multipli per facilità l'installazione è u mantenimentu indipendenti di a cavità, l'assemblea è l'aghjurnamentu futuru.Dotatu di un sistema di trasportu di materiale purificatu cumplettamente chjusu per evità a contaminazione di i pezzi.U pezzu di travagliu pò esse rivestitu nantu à unu o i dui lati, soprattuttu per deposità film otticu di culore o film metallicu.
A sala di revestimentu di l'equipaggiu mantene un statu di vacuum altu per un bellu pezzu, cù menu gasu impurità, alta purità di u revestimentu è un bonu indice di rifrazione.U sistema di cuntrollu di circuitu chjusu Speedflo cumplettamente automaticu hè cunfiguratu per migliurà a rata di deposizione di film.I paràmetri di u prucessu ponu esse tracciati, è u prucessu di produzzione pò esse monitoratu in tuttu u prucessu per facilità u seguimentu di i difetti di produzzione.L'equipaggiu hà un altu gradu d'automatizazione.Pò esse usatu inseme cù u manipulatore per cunnette i prucessi frontali è posteriori è riduce u costu di u travagliu.
A linea di pruduzzione di rivestimentu pò esse usata per chjappà Nb2O5, SiO2, TiO2, in, Cu, Cr, Ti, SUS, Ag è altri ossidi è ancu materiali metallichi simplici.Hè principarmenti utilizatu in u prucessu di film otticu di culore di superposizione di metalli è materiali ottici.Hè adattatu per i prudutti piani fatti di vetru, PC,PETè altri materiali.Hè stata largamente utilizata in film PET / piastra composta, piastra di vetru, schermu di visualizazione è altri prudutti.