HFCVD0606

Vakuová potahovací komora zařízení pro chemické nanášení par má nezávislou dvouvrstvou strukturu chlazení vodou, která je účinná a rovnoměrná při chlazení a má bezpečnou a stabilní strukturu.Zařízení je navrženo s dvojitými dveřmi, vícenásobnými pozorovacími okny a vícenásobnými rozšiřujícími rozhraními, což je vhodné pro externí připojení pomocných periferií, jako je infračervené měření teploty, spektrální analýza, video monitorování a termočlánek.Pokročilá koncepce designu usnadňuje a zjednodušuje každodenní generální opravy a údržbu, změnu konfigurace a upgrade zařízení a efektivně snižuje náklady na používání a upgrade.

Vlastnosti výbavy:

1. Komponenty nafukování zařízení zahrnují hlavně hmotnostní průtokoměr, solenoidový ventil a směšovací nádrž na plyn, které zajišťují přesné řízení průtoku procesního plynu, rovnoměrné míchání a bezpečnou izolaci různých plynů a mohou vybrat komponenty plynového systému pro použití zdroj kapalného plynu, usnadňují personalizovaný výběr široké škály zdrojů kapalného uhlíku a bezpečné použití syntetických vodivých diamantů a elektrodových zdrojů kapalného boru.
2. Sestava pro odsávání vzduchu je vybavena tichým a účinným rotačním lamelovým vakuovým čerpadlem a systémem turbomolekulárního čerpadla, které dokáže rychle splnit prostředí s vysokým vakuem.Kompozitní vakuoměr s odporovým a ionizačním tlakoměrem se používá pro měření vakua, stejně jako kapacitní systém filmového tlakoměru, který dokáže měřit tlak různých procesních plynů v širokém rozsahu.Depoziční tlak je plně automaticky řízen vysoce přesným proporcionálním regulačním ventilem.
3. Komponenta chladicí vody je vybavena vícekanálovým tlakem vody, průtokem, měřením teploty a softwarovým automatickým monitorováním.Různé chladicí komponenty jsou na sobě nezávislé, což je výhodné pro rychlou diagnostiku závad.Všechny větve mají nezávislé ventilové spínače, což je bezpečné a efektivní.
4. Komponenty elektrického ovládání přijímají velkoplošnou LCD obrazovku s rozhraním člověk-stroj a spolupracují s plně automatickým řízením PLC, aby se usnadnila editace a import procesního vzorce.Grafická křivka vizuálně zobrazuje změny a hodnoty různých parametrů a parametry zařízení a procesu se automaticky zaznamenávají a archivují, aby se usnadnilo sledování problémů a statistická analýza dat.
5. Stojan na obrobky je vybaven servomotorem pro ovládání zvedání a spouštění stolu substrátu.Lze zvolit grafitovou nebo červenou měděnou podložku.Teplota se měří termočlánkem.
6. Komponenty racku mohou být navrženy jako celek nebo samostatně podle požadavků zákazníka, aby splňovaly speciální požadavky zákazníků na manipulaci.
7. Komponenty těsnicí desky jsou krásné a elegantní.Těsnící desky v různých funkčních modulových oblastech zařízení lze rychle demontovat nebo samostatně otevřít a zavřít, což je velmi pohodlné použití.

Zařízení CVD s horkým vláknem je vhodné pro nanášení diamantových materiálů, včetně tenkovrstvého povlaku, samonosného tlustého filmu, mikrokrystalického a nanokrystalického diamantu, vodivého diamantu atd. Používá se hlavně pro ochranný povlak odolný proti opotřebení řezných nástrojů ze slinutých karbidů, polovodičových materiálů jako je křemík a karbid křemíku, povlak zařízení odvádějící teplo, vodivá diamantová elektroda dopovaná borem, dezinfekce elektrolytické vody ozonem nebo čištění odpadních vod.