1) Cylindrické terče mají vyšší míru využití než terče rovinné.V procesu potahování, ať už se jedná o rotační magnetický typ nebo válcový naprašovací terč s rotační trubicí, všechny části povrchu elektronky nepřetržitě procházejí oblastí naprašování vytvořenou před permanentním magnetem, aby přijaly katodové naprašování. terč může být rovnoměrně naprašován a leptán a míra využití terče je vysoká.Míra využití cílových materiálů je asi 80%~90%.
2) U válcových terčů nebude snadné vyrobit „cílovou otravu“.Během procesu potahování je povrch terčové trubice vždy rozprášen a naleptán ionty a není snadné hromadit na povrchu silné oxidy a jiné izolační filmy a není snadné způsobit „otravu terče“.
3) Konstrukce válcového naprašovacího terče s rotačním terčem je jednoduchá a snadno se instaluje.
4) Materiál válcové cílové trubice má různé typy.rovinný terč s kovovým terčem přímé vodní chlazení a některé nelze zpracovávat a tvarovat válcové terče, jako je In2-SnO2 terč atd. s práškovým materiálem pro izostatické lisování za tepla pro získání deskovitých terčů, protože velikost nelze vyrobit velké a křehké, takže je nutné použít metodu pájení a měděnou zadní desku k integraci a následné instalaci na cílovou základnu.Kromě kovových trubek lze sloupcové terče na povrch nerezových trubek stříkat také různými materiály, které je třeba potáhnout, jako je Si, Cr atd.
V současné době se v průmyslové výrobě zvyšuje podíl válcových terčů pro nátěry.Válcové terče se nepoužívají pouze pro vertikální nanášecí stroj, ale také se používají ve válečkovém potahovacím stroji.V posledních letech jsou planární dvojče postupně nahrazovány Válcovými dvojčaty.
——Tento článek vydala společnost Guangdong Zhenhua Technology, avýrobce optických lakovacích strojů.
Čas odeslání: 11. května 2023