1. Tepelná CVD technologie
Tvrdé povlaky jsou většinou kovokeramické povlaky (TiN apod.), které vznikají reakcí kovu v povlaku a reaktivním zplyňováním.Nejprve byla tepelná CVD technologie použita k poskytnutí aktivační energie kombinované reakce tepelnou energií při vysoké teplotě 1000 ℃.Tato teplota je vhodná pouze pro nanášení TiN a jiných tvrdých povlaků na nástroje ze slinutého karbidu.Dosud je stále důležitou technologií nanášení kompozitních povlaků TiN-Al20 na nástrojové hlavy ze slinutého karbidu.
2. Iontový povlak s dutou katodou a iontový povlak s horkým drátem
V 80. letech 20. století byly k nanášení povlakovaných řezných nástrojů používány iontové povlaky s dutou katodou a iontové povlakování horkým drátem.Obě tyto technologie iontového povlaku jsou technologie iontového povlaku s obloukovým výbojem s rychlostí ionizace kovu až 20 %~40 %.
3. Katodový obloukový iontový povlak
Vznik katodického obloukového iontového povlaku vedl k vývoji technologie nanášení tvrdých povlaků na formy.Rychlost ionizace povlaku katodických obloukových iontů je 60%~90%, což umožňuje velkému množství kovových iontů a iontů reakčních plynů dosáhnout povrchu obrobku a stále si zachovat vysokou aktivitu, což vede k reakčnímu usazování a tvorbě tvrdých povlaků, jako je např. Cín.V současnosti se technologie katodového obloukového iontového povlaku používá především k nanášení tvrdých povlaků na formy.
Zdroj katodového oblouku je pevný odpařovací zdroj bez pevné lázně taveniny a poloha zdroje oblouku může být libovolně umístěna, což zlepšuje míru využití prostoru potahovny a zvyšuje kapacitu nakládání pece.Tvary katodových obloukových zdrojů zahrnují malé kruhové katodové obloukové zdroje, sloupcové obloukové zdroje a obdélníkové ploché velké obloukové zdroje.Různé součásti malých obloukových zdrojů, sloupcových obloukových zdrojů a velkých obloukových zdrojů mohou být uspořádány odděleně pro ukládání vícevrstvých filmů a nano vícevrstvých filmů.Mezitím, díky vysoké rychlosti ionizace kovů katodového obloukového iontového povlaku, mohou kovové ionty absorbovat více reakčních plynů, což má za následek široký rozsah procesů a jednoduchou obsluhu pro získání vynikajících tvrdých povlaků.V mikrostruktuře povlakové vrstvy získané katodickým obloukovým iontovým povlakem jsou však hrubé kapičky.V posledních letech se objevilo mnoho nových technologií pro zjemnění struktury filmové vrstvy, což zlepšilo kvalitu povlakového filmu s obloukovými ionty.
——Tento článek vydala společnost Guangdong Zhenhua Technology, avýrobce optických lakovacích strojů.
Čas odeslání: 28. dubna 2023