Přímá plazmová polymerace

Přímá plazmová polymerace

Proces plazmové polymerace je relativně jednoduchý jak pro zařízení pro polymeraci s vnitřní elektrodou, tak pro zařízení pro polymeraci s externí elektrodou, ale u plazmové polymerace je důležitější výběr parametrů, protože parametry mají větší vliv na strukturu a výkon polymerních filmů během plazmové polymerace.

Operační kroky pro přímou plazmovou polymeraci jsou následující:

(1) Vysávání

Vakuum pozadí polymerace za podmínek vakua by mělo být čerpáno na 1,3 x 10-1 Pa.U polymeračních reakcí, které vyžadují speciální požadavky na řízení obsahu kyslíku nebo dusíku, je požadavek na vakuum pozadí ještě vyšší.

(2) Náplň reakčního monomeru nebo směsného plynu nosného plynu a monomeru

Stupeň vakua je 13-130 Pa.Pro plazmovou polymeraci vyžadující práci je třeba zvolit vhodný režim řízení průtoku a průtok, obecně 10,100 ml/min.V plazmě jsou molekuly monomeru ionizovány a disociovány bombardováním energetických částic, což vede k aktivním částicím, jako jsou ionty a aktivní geny.Aktivní částice aktivované plazmou mohou podléhat plazmové polymeraci na rozhraní plynné fáze a pevné fáze.Monomer je zdrojem prekurzoru pro plazmovou polymeraci a vstupní reakční plyn a monomer musí mít určitou čistotu.

(3) Výběr zdroje buzení

Plazma může být generována pomocí stejnosměrných, vysokofrekvenčních, RF nebo mikrovlnných zdrojů energie, které poskytují plazmové prostředí pro polymeraci.Výběr napájecího zdroje je určen na základě požadavků na strukturu a výkon polymeru.

(4) Výběr režimu vybíjení

Pro požadavky na polymer může plazmová polymerizace zvolit dva režimy výboje: kontinuální výboj nebo pulzní výboj.

(5) Výběr parametrů vypouštění

Při provádění plazmové polymerace je třeba zvážit parametry výboje z parametrů plazmy, vlastností polymeru a požadavků na strukturu.Velikost aplikovaného výkonu během polymerace je určena objemem vakuové komory, velikostí elektrody, průtokem a strukturou monomeru, rychlostí polymerace a strukturou a výkonem polymeru.Pokud je například objem reakční komory 1 l a použije se vysokofrekvenční plazmová polymerace, výkon výboje bude v rozsahu 10~30W.Za takových podmínek může generované plazma agregovat za vzniku tenkého filmu na povrchu obrobku.Rychlost růstu plazmového polymerizačního filmu se mění v závislosti na dodávce energie, typu monomeru a průtoku a podmínkách procesu.Obecně je rychlost růstu 100 nm/min~1 um/min.

(6) Měření parametrů při plazmové polymeraci

Parametry plazmy a procesní parametry, které se mají měřit při plazmové polymeraci, zahrnují: výbojové napětí, výbojový proud, frekvenci výboje, teplotu elektronů, hustotu, typ a koncentraci reakční skupiny atd.

——Tento článek vydala společnost Guangdong Zhenhua Technology, avýrobce optických lakovacích strojů.