1. Čistící substrát pro bombardování
1.1) Naprašovací lakovací stroj používá k čištění substrátu doutnavý výboj.To znamená, že do komory nabijte plynný argon, vybíjecí napětí je kolem 1000 V, Po zapnutí napájení se vytvoří doutnavý výboj a substrát se vyčistí bombardováním argonovými ionty.
1.2) U naprašovacích lakovacích strojů, které průmyslově vyrábějí špičkové ozdoby, se k čištění většinou používají titanové ionty emitované malými obloukovými zdroji.Naprašovací lakovací stroj je vybaven malým obloukovým zdrojem a proud titanových iontů v obloukové plazmě generovaný výbojem malého obloukového zdroje se používá k bombardování a čištění substrátu.
2. Povlak z nitridu titanu
Při nanášení tenkých filmů nitridu titanu je materiálem terče pro naprašování titanový terč.Materiál terče je připojen k záporné elektrodě napájecího zdroje naprašování a cílové napětí je 400~500V;Tok argonu je pevný a kontrolní vakuum je (3~8) x10-1PA.Substrát je připojen k záporné elektrodě napájecího zdroje s předpětím o napětí 100~200V.
Po zapnutí napájení rozprašovací titanové terče se generuje doutnavý výboj a vysokoenergetické argonové ionty bombardují rozprašovací terč a rozprašují atomy titanu z terče.
Do reakčního plynu se zavede dusík a atomy titanu a dusík se v potahovací komoře ionizují na titanové ionty a dusíkové ionty.Pod přitažlivostí elektrického pole negativního předpětí aplikovaného na substrát se titanové ionty a ionty dusíku urychlují na povrch substrátu za účelem chemické reakce a depozice za vzniku vrstvy filmu nitridu titanu.
3. Vyjměte substrát
Po dosažení předem stanovené tloušťky filmu vypněte zdroj napájení naprašování, zdroj předpětí substrátu a zdroj vzduchu.Poté, co je teplota substrátu nižší než 120 ℃, naplňte nátěrovou komoru vzduchem a vyjměte substrát.
Tento článek je publikovánvýrobce magnetronového naprašovacího nanášecího stroje– Guangdong Zhenhua.
Čas odeslání: duben-07-2023