Proces potahování dutou katodou iontem je následující:
1、Dejte ingoty Chin do kolapsu.
2、 Montáž obrobku.
3、Po evakuaci na 5×10-3Pa se do potahovací komory ze stříbrné trubice zavede plynný argon a úroveň vakua je kolem 100Pa.
4、Zapněte napájení zkreslení.
5、Po zapnutí oblouku, aby se zapálil výboj duté katody. Doutnavý výboj je generován v knoflíkové trubici,Výbojové napětí je 800~1000V,Proud zvedání oblouku je 30~50A.Díky duté katodovému efektu záře výboj,Vysoká hustota proudu doutnavého výboje,Vysoká hustota krysích iontů ve stříbrné trubici bombarduje stěnu trubice Vantage,Rychle se stěna trubice zahřeje na emisi toku elektronů, režim výboje z doutnavého výboje se náhle změní na obloukový výboj,Napětí je 40~70V,Proud je 80~300A. Teplota stříbrné trubice dosahuje nad 2300K,Žárovka,Vydává proud obloukových elektronů s vysokou hustotou z trubice a vystřeluje na anodu.
6、Nastavení úrovně vakua. Úroveň vakua pro doutnavý výboj z duté katodové pistole je asi 100 Pa a stupeň vakua povlaku je 8×10-1~2Pa.Proto po zapálení obloukového výboje snižte příchozí argon plynu co nejdříve,Upravte úroveň vakua na rozsah vhodný pro nátěr.
7、Základní vrstva pokovená titanem.Tok elektronů na anodicky zhroucený kovový ingot brady,přeměna kinetické energie na tepelnou energii,odpařování kovu brady zahříváním,atomy páry se dostanou k obrobku a vytvoří titanový film.
8、Depozice TiN.Dusík je přiváděn do povlakovací komory,Dusík a odpařené atomy jsou ionizovány na ionty dusíku a titanu.Nad kelímkem,Vyšší pravděpodobnost nepružných srážek atomů par titanu s hustými proudy nízkoenergetických elektronů, Rychlost disociace kovu je až 20%~40%.,Titanové ionty pravděpodobněji chemicky reagují s dusíkem reakčního plynu,Depozice pro získání vrstvy nitridového pláště.Dutá katodová pistole je zároveň zdrojem odpařování，Další zdroj ionizace.Během potahování,proud elektromagnetické cívky kolem kelímku by měl být také nastaven,zaměřte elektronový paprsek do středu kolapsu,tak se zvýší hustota výkonu toku elektronů.
9、Vypnutí napájení. Jakmile tloušťka filmu dosáhne předem stanovené tloušťky filmu, vypněte napájení oblouku、Předpětí napájení a přívod vzduchu.
Čas odeslání: Červenec-08-2023