Proces iontového potahování zdroje malého oblouku

Proces potahování iontovým zdrojem katodového oblouku je v zásadě stejný jako u jiných technologií potahování a některé operace jako instalace obrobků a vysávání se již neopakují.

1.Bombardovací čištění obrobků

Před potahováním se do potahovací komory zavádí argon s vakuem 2x10-2Pa.

Zapněte zdroj pulzního předpětí se pracovním cyklem 20 % a předpětím obrobku 800-1000 V.

Když se zapne napájení oblouku, generuje se světelný výboj studeného pole, který emituje velké množství proudu elektronů a proudu titanových iontů ze zdroje oblouku, čímž se vytvoří plazma s vysokou hustotou.Titanový iont urychluje jeho vstřikování do obrobku pod negativním vysokým předpětím působícím na obrobek, bombarduje a rozprašuje zbytkový plyn a znečišťující látky adsorbované na povrchu obrobku a čistí a čistí povrch obrobku;Současně je plynný chlór v nanášecí komoře ionizován elektrony a ionty argonu urychlují ostřelování povrchu obrobku.

Proto je čisticí účinek bombardování dobrý.Pouze asi 1 minuta čištění bombardováním může vyčistit obrobek, což se nazývá „bombardování hlavním obloukem“.Vzhledem k vysoké hmotnosti titanových iontů, pokud je k ostřelování a čištění obrobku příliš dlouho používán malý obloukový zdroj, teplota obrobku je náchylná k přehřátí a ostří nástroje může změknout.V běžné výrobě se malé obloukové zdroje zapínají jeden po druhém shora dolů a každý malý obloukový zdroj má dobu čištění bombardováním asi 1 minutu.

(1) Spodní vrstva z titanu

Aby se zlepšila adheze mezi filmem a substrátem, je obvykle před potahováním nitridem titanu potažena vrstva substrátu z čistého titanu.Upravte úroveň vakua na 5×10-2-3×10-1Pa, upravte předpětí obrobku na 400-500 V a upravte pracovní cyklus zdroje pulzního předpětí na 40 %~50 %.Stále zapalování malých obloukových zdrojů jeden po druhém, aby se vytvořil výboj studeného pole.V důsledku poklesu záporného předpětí obrobku se energie titanových iontů snižuje.Po dosažení obrobku je účinek rozprašování menší než účinek nanášení a na obrobku se vytvoří titanová přechodová vrstva pro zlepšení spojovací síly mezi vrstvou tvrdého filmu nitridu titanu a substrátem.Tento proces je také procesem zahřívání obrobku.Když je čistý titanový terč vybit, světlo v plazmě je azurově modré.

1. Potah z tvrdého filmu s amoniakem

Nastavte stupeň vakua na 3×10^-1-5Pa, upravte předpětí obrobku na 100-200V a upravte pracovní cyklus zdroje pulzního předpětí na 70%~80%.Po zavedení dusíku je titan kombinovanou reakcí s plazmou obloukového výboje za účelem nanesení tvrdého filmu nitridu titanu.V tomto okamžiku je světlo plazmy ve vakuové komoře třešňově červené.Pokud C₂H₂, O₂, atd. jsou zavedeny, TiCN, TiO₂, atd. lze získat filmové vrstvy.

– Tento článek vydala společnost Guangdong Zhenhua, avýrobce vakuového lakovacího stroje