Odporové napařování zdrojem je základní metoda vakuového napařování.„Odpařování“ se týká způsobu přípravy tenkého filmu, při kterém se nátěrový materiál ve vakuové komoře zahřívá a odpařuje, takže se atomy nebo molekuly materiálu vypařují a unikají z povrchu a vytvářejí fenomén proudění páry, dopadající na povrch substrátu nebo substrátu a nakonec se kondenzuje za vzniku pevného filmu.
Metodou tzv. odporového napařovacího zdroje je použití tantalu, molybdenu, wolframu a dalších kovů s vysokým bodem tání k vytvoření vhodného tvaru zdroje odpařování, který je zatížen materiály, které se mají odpařovat, nechat proudit vzduch, přímo ohřívat a odpařte odpařené materiály nebo vložte materiály určené k odpařování do aluminy, oxidu berylnatého a dalších kelímků pro nepřímý ohřev a odpařování.Jedná se o metodu odporového ohřevu odpařováním.
Thevakuový napařovací lakovací strojohřívaný a odpařovaný odporovým ohřívačem má výhody jednoduché konstrukce, nízké ceny a spolehlivého použití.Lze jej použít pro odpařovací nátěry materiálů s nízkým bodem tání, zejména pro hromadnou výrobu s nízkými požadavky na kvalitu nátěru.Doposud se při výrobě hliníkových zrcadel používá velké množství povlakovacích procesů odporového ohřevu a odpařování.
Nevýhody metody nanášení odporového odpařovacího zdroje odpařování spočívají v tom, že je omezena maximální teplota, které lze dosáhnout ohřevem, a také krátká životnost ohřívače.V posledních letech, aby se zlepšila životnost odporového zdroje odpařování, továrna na zařízení přijala jako zdroj odpařování vodivý keramický materiál syntetizovaný nitridem boru s dlouhou životností.Podle japonské patentové zprávy může používat materiály složené z 20 % až 30 % nitridu boru a žáruvzdorné materiály, které s ním lze tavit, aby vytvořily zdroj odpařování (kelímek), a potáhnout jeho povrch vrstvou zirkonia obsahující 62 % ~82% a zbytek jsou materiály ze slitiny zirkonia a křemíku.
Čas odeslání: 22. dubna 2023