Zařízení pro kompozitní povlakování magnetronového naprašování a katodového víceobloukového iontového povlaku mohou pracovat samostatně a současně;může být nanášen a připraven čistý kovový film, film z kovových sloučenin nebo kompozitní film;Může to být jedna vrstva filmu a vícevrstvý kompozitní film.
Jeho výhody jsou následující:
Nejenže kombinuje výhody různých iontových povlaků a zohledňuje přípravu a nanášení tenkého filmu pro různé oblasti použití, ale umožňuje také nanášení a přípravu vícevrstvých monolitických filmů nebo vícevrstvých kompozitních filmů ve stejném vakuu. povlakovací komora najednou.
Aplikace nanášených vrstev filmu jsou široce používány, jejich technologie jsou v různých formách, typické jsou následující:
(1) Sloučenina technologie nerovnovážného magnetronového naprašování a katodového iontového pokovování.
Jeho zařízení je zobrazeno následovně.Jedná se o složené potahovací zařízení sloupcového magnetronového terče a planárního katodického obloukového iontového potahování, které je vhodné jak pro potahování složeným filmem nástroje, tak pro potahování dekorativním filmem.Pro povlakování nástrojů se povlak katodickým obloukem použije nejprve pro povlak základní vrstvy a poté se sloupcový magnetronový terč použije pro nanášení nitridových a jiných filmových vrstev, aby se získal vysoce přesný povrchový film pro zpracování nástroje.
Pro dekorativní povlaky mohou být dekorační filmy TiN a ZrN naneseny nejprve katodickým obloukovým povlakem a poté dotovány kovem pomocí magnetronových terčů, přičemž dotovací efekt je velmi dobrý.
(2) Sloučenina dvouplošných magnetronových a sloupcových katodových obloukových iontových potahovacích technik.Zařízení je zobrazeno následovně.Využívá pokročilou technologii dvojitého terče, kdy dva vedle sebe umístěné dvojité terče napojené na středofrekvenční zdroj energie nejen překonává otravu terče stejnosměrným rozprašováním, ohněm a dalšími nevýhodami;a může ukládat Al203, kvalitní film oxidu Si02, takže odolnost proti oxidaci potažených částí se zvýšila a zlepšila.Sloupový víceobloukový terč instalovaný ve středu vakuové komory, materiál terče lze použít Ti a Zr, a to nejen k zachování výhod vysoké rychlosti disociace více oblouku, rychlosti depozice, ale také může účinně snížit „kapky“ v proces malé rovinné víceobloukové cílové depozice, může ukládat a připravit nízkou poréznost kovových filmů, složených filmů.Pokud jsou Al a Si použity jako materiály terčů pro dvojité planární magnetronové terče instalované na periferii, lze nanést a připravit metalokeramické filmy Al203 nebo Si0.Kromě toho může být na periferii instalováno několik malých rovin víceobloukového odpařovacího zdroje a jeho cílovým materiálem může být Cr nebo Ni a mohou být nanášeny a připravovány kovové filmy a vícevrstvé kompozitní filmy.Proto je tato technologie kompozitního povlakování technologií kompozitního povlaku s mnoha aplikacemi.
Čas odeslání: List-08-2022