1) Mae gan dargedau silindrog gyfradd defnyddio uwch na thargedau planar.Yn y broses cotio, p'un a yw'n fath magnetig cylchdro neu'n darged sputtering silindrog math tiwb cylchdro, mae pob rhan o wyneb y tiwb targed yn mynd trwy'r ardal sputtering a gynhyrchir o flaen y magnet parhaol yn barhaus i dderbyn sputtering catod, a'r gellir sputtered targed unffurf ysgythru, ac mae'r gyfradd defnyddio targed yn uchel.Mae cyfradd defnyddio deunyddiau targed tua 80% ~ 90%.
2) Ni fydd targedau silindrog yn hawdd i gynhyrchu “gwenwyno targed”.Yn ystod y broses cotio, mae wyneb y tiwb targed bob amser yn cael ei chwistrellu a'i ysgythru gan ïonau, ac nid yw'n hawdd cronni ocsidau trwchus a ffilmiau inswleiddio eraill ar yr wyneb, ac nid yw'n hawdd cynhyrchu "gwenwyn targed".
3) Mae strwythur y tiwb targed cylchdro math sputtering silindraidd targed yn syml ac yn hawdd i'w gosod.
4) Mae gan y deunydd tiwb targed silindrog wahanol fathau.targed planar gyda tharged metel oeri dŵr uniongyrchol, ac ni ellir prosesu rhai a ffurfio targedau silindrog, megis targed In2-SnO2, ac ati gyda deunydd powdr ar gyfer gwasgu isostatig poeth i gael targedau tebyg i blât, oherwydd ni ellir gwneud y maint mawr, a brau, felly mae angen defnyddio dull presyddu a backplate copr i integreiddio ac yna gosod ar y sylfaen targed.Yn ogystal â phibellau metel, gellir chwistrellu targedau colofnol hefyd ar wyneb pibellau dur di-staen gyda deunyddiau amrywiol y mae angen eu gorchuddio, megis Si, Cr, ac ati.
Ar hyn o bryd, mae cyfran y targedau silindrog ar gyfer cotio mewn cynhyrchu diwydiannol yn cynyddu.Mae targedau silindrog nid yn unig yn defnyddio ar gyfer y peiriant cotio fertigol ond hefyd yn defnyddio yn y peiriant cotio rholio i rolio.Yn ystod y blynyddoedd diwethaf, mae'r targedau deublyg planar yn cael eu disodli'n raddol gan y targedau deuol Silindraidd.
—— Rhyddhawyd yr erthygl hon gan Guangdong Zhenhua Technology, agwneuthurwr peiriannau cotio optegol.
Amser postio: Mai-11-2023