1. y rhagfarn workpiece yn isel
Oherwydd ychwanegu dyfais i gynyddu'r gyfradd ïoneiddio, cynyddir y dwysedd cerrynt rhyddhau, a gostyngir y foltedd gogwydd i 0.5 ~ 1kV.
Mae'r backsputtering a achosir gan belediad gormodol o ïonau ynni uchel a'r effaith difrod ar wyneb y gweithle yn cael eu lleihau.
2. Dwysedd plasma cynyddol
Mae mesurau amrywiol i hyrwyddo ionization gwrthdrawiad wedi'u hychwanegu, ac mae'r gyfradd ionization metel wedi cynyddu o 3% i fwy na 15%.Cynyddir dwysedd ïonau gên ac atomau niwtral ynni uchel, ïonau nitrogen, atomau gweithredol ynni uchel a grwpiau gweithredol yn y siambr cotio, sy'n ffafriol i'r adwaith i ffurfio cyfansoddion.Mae'r technolegau cotio ïon rhyddhau glow amrywiol uchod wedi gallu cael haenau ffilm caled TN trwy ddyddodiad adwaith ar ddwysedd plasma uwch, ond oherwydd eu bod yn perthyn i'r math rhyddhau glow, nid yw'r dwysedd cerrynt rhyddhau yn ddigon uchel (lefel mA / cm2 o hyd ), ac nid yw'r dwysedd plasma cyffredinol yn ddigon uchel, ac mae'r broses o adwaith dyddodiad cotio cyfansawdd yn anodd.
3. Mae ystod cotio y ffynhonnell anweddiad pwynt yn fach
Mae amrywiol dechnolegau cotio ïon gwell yn defnyddio ffynonellau anweddiad trawst electron, a gantu fel ffynhonnell anweddiad pwynt, sy'n gyfyngedig i gyfwng penodol uwchben gantu ar gyfer dyddodiad adwaith, felly mae'r cynhyrchiant yn isel, mae'r broses yn anodd, ac mae'n anodd ei ddiwydiannu.
4. Gwn electronig gweithrediad pwysedd uchel
Y foltedd gwn electron yw 6 ~ 30kV, a foltedd gogwydd y gweithle yw 0.5 ~ 3kV, sy'n perthyn i weithrediad foltedd uchel ac sydd â rhai peryglon diogelwch.
—— Rhyddhawyd yr erthygl hon gan Guangdong Zhenhua Technology, agwneuthurwr peiriannau cotio optegol.
Amser postio: Mai-12-2023