Cyflwyniad i Dechnegau Confensiynol ar gyfer Adneuo Haenau Caled

1. Technoleg CVD thermol

Mae haenau caled yn bennaf yn haenau ceramig metel (TiN, ac ati), sy'n cael eu ffurfio gan adwaith metel yn y cotio a nwyeiddio adweithiol.Ar y dechrau, defnyddiwyd y dechnoleg CVD thermol i ddarparu egni actifadu adwaith cyfuniad gan ynni thermol ar dymheredd uchel o 1000 ℃.Mae'r tymheredd hwn ond yn addas ar gyfer dyddodi TiN a haenau caled eraill ar offer carbid sment.Hyd yn hyn, mae'n dal i fod yn dechnoleg bwysig i adneuo haenau cyfansawdd TiN-Al20 ar bennau offer carbid sment.

2. Cotio ïon cathod gwag a gorchudd ïon arc gwifren poeth

Yn yr 1980au, defnyddiwyd cotio ïon catod gwag a gorchudd ïon arc gwifren poeth i adneuo offer torri â chaenen.Mae'r ddwy dechnoleg cotio ïon hyn yn dechnolegau cotio ïon rhyddhau arc, gyda chyfradd ïoneiddio metel o hyd at 20% ~ 40%.

3. cotio ïon arc cathod

Mae ymddangosiad cotio ïon arc cathodig wedi arwain at ddatblygiad y dechnoleg o adneuo haenau caled ar fowldiau.Cyfradd ionization cotio ïon arc cathodig yw 60% ~ 90%, gan ganiatáu i nifer fawr o ïonau metel ac ïonau nwy adwaith gyrraedd wyneb y darn gwaith a pharhau i gynnal gweithgaredd uchel, gan arwain at ddyddodiad adwaith a ffurfio haenau caled megis TiN.Ar hyn o bryd, defnyddir technoleg cotio ïon arc cathodig yn bennaf i adneuo haenau caled ar fowldiau.

Mae ffynhonnell arc cathod yn ffynhonnell anweddiad cyflwr solet heb bwll tawdd sefydlog, a gellir gosod safle'r ffynhonnell arc yn fympwyol, gan wella cyfradd defnyddio gofod yr ystafell cotio a chynyddu gallu llwytho'r ffwrnais.Mae siapiau ffynonellau arc cathod yn cynnwys ffynonellau arc cathod crwn bach, ffynonellau arc colofnog, a ffynonellau arc mawr gwastad hirsgwar.Gellir trefnu gwahanol gydrannau o ffynonellau arc bach, ffynonellau arc colofnog, a ffynonellau arc mawr ar wahân i adneuo ffilmiau aml-haen a ffilmiau nano multilayer.Yn y cyfamser, oherwydd y gyfradd ionization metel uchel o cotio ïon arc cathodig, gall ïonau metel amsugno mwy o nwyon adwaith, gan arwain at ystod eang o brosesau a gweithrediad syml i gael haenau caled rhagorol.Fodd bynnag, mae defnynnau bras ym microstrwythur yr haen cotio a geir trwy araen ïon arc cathodig.Yn ystod y blynyddoedd diwethaf, mae llawer o dechnolegau newydd wedi dod i'r amlwg i fireinio strwythur yr haen ffilm, sydd wedi gwella ansawdd y ffilm cotio ïon arc.

—— Rhyddhawyd yr erthygl hon gan Guangdong Zhenhua Technology, agwneuthurwr peiriannau cotio optegol.