Mae'r broses o cotio ïon ffynhonnell arc cathodig yn y bôn yr un fath â thechnolegau cotio eraill, ac nid yw rhai gweithrediadau megis gosod darnau gwaith a hwfro yn cael eu hailadrodd bellach.
1.Bombardment glanhau o workpieces
Cyn gorchuddio, cyflwynir nwy argon i'r siambr cotio gyda gwactod o 2 × 10-2Pa.
Trowch y cyflenwad pŵer gogwydd pwls ymlaen, gyda chylch dyletswydd o 20% a gogwydd workpiece o 800-1000V.
Pan fydd y pŵer arc yn cael ei droi ymlaen, cynhyrchir gollyngiad golau arc cae oer, sy'n allyrru llawer iawn o gerrynt electron a cherrynt ïon titaniwm o'r ffynhonnell arc, gan ffurfio plasma dwysedd uchel.Mae'r ïon titaniwm yn cyflymu ei chwistrelliad i'r darn gwaith o dan y pwysau tuedd uchel negyddol a roddir ar y darn gwaith, gan beledu a sputtering y nwy gweddilliol a'r llygryddion sydd wedi'u hamsugno ar wyneb y darn gwaith, a glanhau a phuro wyneb y darn gwaith;Ar yr un pryd, mae'r nwy clorin yn y siambr cotio yn cael ei ïoneiddio gan electronau, ac mae ïonau argon yn cyflymu peledu arwyneb y darn gwaith.
Felly, mae'r effaith glanhau peledu yn dda.Dim ond tua 1 munud o waith glanhau peledu all lanhau'r darn gwaith, a elwir yn “prif beledu arc”.Oherwydd màs uchel ïonau titaniwm, os defnyddir ffynhonnell arc fach i beledu a glanhau'r darn gwaith am gyfnod rhy hir, mae tymheredd y darn gwaith yn dueddol o orboethi, a gall ymyl yr offeryn ddod yn feddal.Mewn cynhyrchiad cyffredinol, mae ffynonellau arc bach yn cael eu troi ymlaen fesul un o'r brig i'r gwaelod, ac mae gan bob ffynhonnell arc bach amser glanhau peledu o tua 1 munud.
（1） Gorchuddio haen waelod titaniwm
Er mwyn gwella'r adlyniad rhwng y ffilm a'r swbstrad, mae haen o swbstrad titaniwm pur fel arfer wedi'i orchuddio cyn gorchuddio titaniwm nitrid.Addaswch y lefel gwactod i 5 × 10-2-3 × 10-1Pa, addaswch foltedd gogwydd y gweithle i 400-500V, ac addaswch gylchred dyletswydd y cyflenwad pŵer gogwydd pwls i 40% ~ 50%.Dal i danio ffynonellau arc bach fesul un i gynhyrchu gollyngiad arcing cae oer.Oherwydd y gostyngiad yn foltedd rhagfarn negyddol y darn gwaith, mae egni ïonau titaniwm yn lleihau.Ar ôl cyrraedd y workpiece, mae'r effaith sputtering yn llai na'r effaith dyddodiad, ac mae haen trawsnewid titaniwm yn cael ei ffurfio ar y darn gwaith i wella'r grym bondio rhwng haen ffilm galed titaniwm nitrid a'r swbstrad.Mae'r broses hon hefyd yn y broses o wresogi y workpiece.Pan fydd y targed titaniwm pur yn cael ei ollwng, mae'r golau yn y plasma yn las asur.
1. Ammoniated bowlen cotio ffilm galed
Addaswch y radd gwactod i 3 × 10-1-5Pa, addaswch foltedd gogwydd y workpiece i 100-200V, ac addaswch gylchred dyletswydd y cyflenwad pŵer gogwydd pwls i 70% ~ 80%.Ar ôl cyflwyno nitrogen, mae titaniwm yn adwaith cyfunol â'r plasma rhyddhau arc i adneuo ffilm galed nitrid titaniwm.Ar y pwynt hwn, mae golau'r plasma yn y siambr gwactod yn goch ceirios.Os yw C2H2, O2, ac ati yn cael eu cyflwyno, TiCN, TiO2, ac ati gellir cael haenau ffilm.
- Rhyddhawyd yr erthygl hon gan Guangdong Zhenhua, agwneuthurwr peiriant cotio gwactod
Amser postio: Mehefin-01-2023