1, Ffurfio cyfansoddion metel ar yr wyneb targed
Ble mae'r cyfansoddyn yn cael ei ffurfio yn y broses o ffurfio cyfansoddyn o arwyneb targed metel trwy broses sputtering adweithiol?Gan fod yr adwaith cemegol rhwng y gronynnau nwy adweithiol a'r atomau arwyneb targed yn cynhyrchu atomau cyfansawdd, sydd fel arfer yn ecsothermig, rhaid i wres yr adwaith fod â ffordd o ddargludo allan, fel arall ni all yr adwaith cemegol barhau.O dan amodau gwactod, nid yw trosglwyddo gwres rhwng nwyon yn bosibl, felly rhaid i'r adwaith cemegol ddigwydd ar wyneb solet.Mae sputtering adwaith yn cynhyrchu cyfansoddion ar arwynebau targed, arwynebau swbstrad, ac arwynebau strwythurol eraill.Cynhyrchu cyfansoddion ar wyneb y swbstrad yw'r nod, mae cynhyrchu cyfansoddion ar arwynebau strwythurol eraill yn wastraff adnoddau, ac mae cynhyrchu cyfansoddion ar yr wyneb targed yn dechrau fel ffynhonnell atomau cyfansawdd ac yn dod yn rhwystr i ddarparu mwy o atomau cyfansawdd yn barhaus.
2, Ffactorau effaith gwenwyno targed
Y prif ffactor sy'n effeithio ar y gwenwyn targed yw cymhareb nwy adwaith a nwy sputtering, bydd gormod o nwy adwaith yn arwain at wenwyno targed.Cynhelir proses sputtering adweithiol yn ardal y sianel sputtering arwyneb targed mae'n ymddangos ei bod wedi'i gorchuddio gan y cyfansoddyn adwaith neu mae'r cyfansoddyn adwaith yn cael ei dynnu a'i ail-amlygu arwyneb metel.Os yw cyfradd cynhyrchu cyfansawdd yn fwy na chyfradd stripio cyfansawdd, mae'r ardal gorchudd cyfansawdd yn cynyddu.Ar bŵer penodol, mae swm y nwy adwaith sy'n gysylltiedig â chynhyrchu cyfansawdd yn cynyddu ac mae cyfradd cynhyrchu cyfansawdd yn cynyddu.Os bydd swm y nwy adwaith yn cynyddu'n ormodol, mae'r ardal gorchudd cyfansawdd yn cynyddu.Ac os na ellir addasu'r gyfradd llif nwy adwaith mewn pryd, nid yw cyfradd y cynnydd yn yr ardal sylw cyfansawdd yn cael ei atal, a bydd y sianel sputtering yn cael ei gorchuddio ymhellach gan y cyfansawdd, pan fydd y targed sputtering wedi'i orchuddio'n llawn gan y cyfansawdd, y targed yw wedi'i wenwyno'n llwyr.
3, Ffenomen gwenwyno targed
(1) cronni ïon cadarnhaol: pan fydd y gwenwyn targed, bydd haen o ffilm inswleiddio yn cael ei ffurfio ar yr wyneb targed, mae ïonau positif yn cyrraedd yr wyneb targed catod oherwydd rhwystr yr haen inswleiddio.Nid yn uniongyrchol i mewn i'r wyneb targed catod, ond yn cronni ar yr wyneb targed, yn hawdd i gynhyrchu maes oer i arc rhyddhau - arcing, fel na all y sputtering catod fynd ymlaen.
(2) diflaniad anod: pan fydd y targed gwenwyno, wedi'i seilio ar wal siambr gwactod hefyd adneuo ffilm inswleiddio, ni all gyrraedd yr electronau anod fynd i mewn i'r anod, ffurfio ffenomen diflaniad anod.
4, Esboniad corfforol o wenwyno targed
(1) Yn gyffredinol, mae cyfernod allyriadau electronau eilaidd cyfansoddion metel yn uwch na chyfernod metelau.Ar ôl gwenwyno targed, mae wyneb y targed i gyd yn gyfansoddion metel, ac ar ôl cael ei beledu gan ïonau, mae nifer yr electronau eilaidd a ryddheir yn cynyddu, sy'n gwella dargludedd gofod ac yn lleihau'r rhwystriant plasma, gan arwain at foltedd sputtering is.Mae hyn yn lleihau'r gyfradd sputtering.Yn gyffredinol, mae foltedd sputtering magnetron sputtering rhwng 400V-600V, a phan fydd gwenwyno targed yn digwydd, mae'r foltedd sputtering yn cael ei leihau'n sylweddol.
(2) Mae targed metel a tharged cyfansawdd cyfradd sputtering wreiddiol yn wahanol, yn gyffredinol mae cyfernod sputtering metel yn uwch na'r cyfernod sputtering cyfansawdd, felly mae'r gyfradd sputtering yn isel ar ôl gwenwyno targed.
(3) Mae effeithlonrwydd sputtering nwy adweithiol sputtering yn wreiddiol yn is nag effeithlonrwydd sputtering nwy anadweithiol, felly mae'r gyfradd sputtering gynhwysfawr yn gostwng ar ôl i gyfran y nwy adweithiol gynyddu.
5, Atebion ar gyfer gwenwyno targed
(1) Mabwysiadu cyflenwad pŵer amledd canolig neu gyflenwad pŵer amledd radio.
(2) Mabwysiadu rheolaeth dolen gaeedig y mewnlif nwy adwaith.
(3) Mabwysiadu targedau deuol
(4) Rheoli newid y modd cotio: Cyn cotio, cesglir cromlin effaith hysteresis gwenwyno targed fel bod llif aer y fewnfa yn cael ei reoli ar flaen cynhyrchu gwenwyn targed i sicrhau bod y broses bob amser yn y modd cyn y dyddodiad cyfradd yn gostwng yn sylweddol.
- Cyhoeddir yr erthygl hon gan Guangdong Zhenhua Technology, gwneuthurwr offer cotio gwactod.
Amser postio: Nov-07-2022