Mae'r gyfres hon o offer yn defnyddio targedau magnetron i drosi deunyddiau cotio yn gronynnau maint nanomedr, sy'n cael eu hadneuo ar wyneb swbstradau i ffurfio ffilmiau tenau.Rhoddir y ffilm rolio yn y siambr gwactod.Trwy'r strwythur troellog sy'n cael ei yrru'n drydanol, mae un pen yn derbyn y ffilm a'r pen arall yn rhoi'r ffilm.Mae'n parhau i basio trwy'r ardal darged ac yn derbyn y gronynnau targed i ffurfio ffilm drwchus.
Nodweddiadol:
1. tymheredd isel ffurfio ffilm.Nid yw'r tymheredd yn cael fawr o effaith ar y ffilm ac ni fydd yn cynhyrchu dadffurfiad.Mae'n addas ar gyfer PET, PI a ffilmiau coil deunydd sylfaen eraill.
2. Gellir dylunio trwch y ffilm.Gellir dylunio haenau tenau neu drwchus a'u hadneuo trwy addasu'r broses.
3. Dyluniad lleoliad targed lluosog, proses hyblyg.Gall y peiriant cyfan fod ag wyth targed, y gellir eu defnyddio naill ai fel targedau metel syml neu dargedau cyfansawdd ac ocsid.Gellir ei ddefnyddio i baratoi ffilmiau un haen gyda strwythur sengl neu ffilmiau aml-haen gyda strwythur cyfansawdd.Mae'r broses yn hyblyg iawn.
Gall yr offer baratoi ffilm cysgodi electromagnetig, cotio bwrdd cylched hyblyg, ffilmiau dielectrig amrywiol, ffilm gwrth-reflection AR aml-haen, ffilm gwrth-reflection uchel AD, ffilm lliw, ac ati mae gan yr offer ystod eang iawn o gymwysiadau, a dyddodiad ffilm un haen gellir ei gwblhau trwy ddyddodiad ffilm un-amser.
Gall yr offer fabwysiadu targedau metel syml megis Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl, ac ati, neu dargedau cyfansawdd megis SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO, ac ati.
Mae'r offer yn fach o ran maint, yn gryno o ran dyluniad strwythur, yn fach o ran arwynebedd llawr, yn isel mewn defnydd o ynni, ac yn hyblyg o ran addasu.Mae'n addas iawn ar gyfer ymchwil a datblygu proses neu gynhyrchu màs swp bach.