Technoleg dyddodiad â chymorth pelydr ïon

Mewn gwirionedd, mae technoleg dyddodi â chymorth pelydr Ion yn dechnoleg gyfansawdd.Mae'n dechneg trin ïon wyneb cyfansawdd sy'n cyfuno mewnblannu ïon a thechnoleg ffilm dyddodiad anwedd corfforol, a math newydd o dechneg optimeiddio wyneb trawst ïon.Yn ogystal â manteision dyddodiad anwedd corfforol, gall y dechneg hon dyfu unrhyw ffilm drwch yn barhaus o dan amodau rheoli llymach, gwella crisialu a chyfeiriadedd yr haen ffilm yn fwy arwyddocaol, cynyddu cryfder adlyniad yr haen ffilm / swbstrad, gwella'r dwysedd. o'r haen ffilm, a syntheseiddio ffilmiau cyfansawdd gyda chymarebau stoichiometrig delfrydol ar dymheredd ystafell agos, gan gynnwys mathau newydd o ffilmiau na ellir eu cael ar dymheredd a phwysau ystafell.Mae dyddodiad â chymorth pelydr ïon nid yn unig yn cadw manteision y broses mewnblannu ïon, ond gall hefyd orchuddio'r swbstrad â ffilm hollol wahanol i'r swbstrad.
Ym mhob math o ddyddodiad anwedd corfforol a dyddodiad anwedd cemegol, gellir ychwanegu set o ynnau ïon bomio ategol i ffurfio system IBAD, ac mae dwy broses IBAD gyffredinol fel a ganlyn, fel y dangosir yn y Pic:

Fel y dangosir yn Pic (a), defnyddir ffynhonnell anweddiad pelydr electron i arbelydru'r haen ffilm gyda'r trawst ïon a allyrrir o'r gwn ïon, gan wireddu dyddodiad â chymorth pelydr ïon.Y fantais yw y gellir addasu egni a chyfeiriad y trawst ïon, ond dim ond aloi sengl neu gyfyngedig, neu gyfansawdd y gellir ei ddefnyddio fel ffynhonnell anweddu, ac mae pwysedd anwedd pob cydran aloi a chyfansoddyn yn wahanol, sy'n ei gwneud hi'n anodd i gael haen ffilm y cyfansoddiad ffynhonnell anweddiad gwreiddiol.
Pic (b) yn dangos y trawst ïon sputtering-cymorth dyddodiad, a elwir hefyd yn ddyddodiad sputtering trawst ïon dwbl, y mae y targed a wnaed o ïon trawst sputtering deunydd cotio, defnyddir y cynhyrchion sputtering fel y ffynhonnell.Wrth ei ddyddodi ar y swbstrad, cyflawnir dyddodiad â chymorth sputtering pelydr ïon trwy arbelydru â ffynhonnell ïon arall.Mantais y dull hwn yw bod gan y gronynnau sputtered eu hunain egni penodol, felly mae adlyniad gwell gyda'r swbstrad;gall unrhyw gydran o'r targed fod yn cotio sputtered, ond hefyd gall fod yn sputtering adwaith i mewn i'r ffilm, yn hawdd i addasu cyfansoddiad y ffilm, ond mae ei effeithlonrwydd dyddodiad yn isel, mae'r targed yn ddrud ac mae problemau megis sputtering dethol.